爱德华兹有限公司,世界上最大的集成真空和减排解决方案制造商之一,宣布推出新的爱德华兹中心子工厂故障检测和分类(FDC)软件。EdCentra是一个设备监控、数据采集和分析平台,用于收集、集成和分析子工厂的运营数据,以保持恒定的性能。2020欧洲杯下注官网
正如制造商采用先进的监控和数据分析来优化晶圆厂运营一样,他们发现将同样的技术应用到子晶圆厂运营中具有显著的好处。例如,真空状态可通过其对产量的影响,或通过晶圆加工过程中计划外真空失效引起的损失,影响晶圆质量和总体晶圆制造成本。EdCentra提供了有关泵性能和预测性维护的宝贵数据,有助于最大限度地延长工具正常运行时间。
杰弗里·斯托达特,爱德华兹半导体服务部全球营销总监
EdCentra取代了FabWorks,并通过其直观、图形化和完全可定制的用户界面实现了许多新的和改进的子工厂管理功能。它允许分厂设备操作员、分厂工艺工程师或运营经理全面实时了解设备状态,只需点击几下鼠标,即可快速深入到单个设备级信息。全面的历史趋势分析通过跨多个工具和参数的简单屏幕图形趋势比较,实现故障模式的快速根本原因分析。高级功能包括:参数阈值监控和预测性维护,用于过程特定监控2020欧洲杯下注官网,以及促进基于状态的维护和维护池。
EdCentra旨在快速、有针对性地实施新市场和客户要求,并无缝添加新的关键子工厂设备监控趋势。该系统可以预测新类型的数据库、通信协议和数据管理生态系统。2020欧洲杯下注官网
EdCentra为未来做好了准备。它结合了我们的全球设备和工艺知识,并通过其监控、高级诊断和预测能力,让我们的客户放心,他2020欧洲杯下注官网们的子工厂基础设施得到了良好的维护,随时可以提供稳定的工艺和产量性能。
Geoffrey Stoddart,半导体服务D全球营销总监爱德华兹艾维森