图片来源:Physik instrument
全球纳米定位设备领导者PI (Physik inst2020欧洲杯下注官网rument)设计并发布了两个基于低轮廓平行运动装置的新型紧凑多轴定位平台。采用压电陶瓷电机驱动，以低发热量和无漂移自动定位夹紧特性实现纳米级精度和高稳定性。
N-865高端-低轮廓6轴运动平台，2纳米最小增量运动
这一高端系统是基于专利压电®直线电机技术。它在X, Y, Z提供了2纳米的最小增量运动，在俯仰，偏航和滚转中提供了0.2微半径的角运动。N-865可以支持高达15N的负载。集成专有线性编码器以0.5纳米分辨率测量位置。
Q-845紧凑6轴运动平台，6纳米最小增量运动
Q-845是一款基于压电惯性驱动的高性能、紧凑的六轴系统，可提供最小至6纳米的增量运动。集成线性编码器以1纳米分辨率测量位置，并向6轴控制器提供反馈。Q-845可承受10n的负载，速度可达5毫米/秒。
虚拟的，可编程的枢轴点
这两种六轴系统都提供了软件可编程的虚拟枢轴点——这是在SiP和微光学应用中所需的对准过程的决定性特征。
规格，数据表，更多信息
http://www.pi-usa.us/products/Micropositioning_Stage_Hexapod/hexapod-6-axis-stage.php#SpaceFAB
标准和自定义
PI拥有超过40年的与客户合作的内部设计解决方案，提供满足应用需求的产品，并可以快速修改现有的产品设计或提供完全定制的OEM部件，以满足应用的精确要求。