离子图标分析仪是奥地利领先的实时痕量VOC分析仪制造商,为典型半导体应用中的空气分子污染(AMC)监测引入了一个新的模块化灵活平台,例如:
- AMC的FOUP分析,重点关注VOC和可冷凝物,包括与Pfeiffer真空APA 302 pod分析仪的完全集成
- 制造厂的洁净室监控:使用集成多路复用系统在多个采样点自动检测AMC,直接在工厂的可变位置,甚至在工具级别
- 外部和进气监测:自动围栏线监测,包括报警水平、上下游过滤器测试
图片来源:IONICON Analytik
AMC监视器T-1000
这个全面的监控解决方案现在基于IONICON著名的PTR-TOFMS系列与“新”捆绑在一起阿美分析软件。自动测量和评估(AME)套件为特定的监控难题提供了预设的解决方案。分析仪将自动扫描,识别数据中的目标物质,并实时显示所选AMC的浓度。智能模式匹配算法可提供已识别污染物的准确定量信息,即使在复杂的测量环境中也是如此。
AMC监视器T-1000能够实时自动量化数百种物质。采用创新的PTR-TOF技术,同时分析所有可检测化合物,灵敏度高,检测限非常低,小于1 pptv。
IONICON专家凭借其在分析化学方面的丰富经验,根据特定铸造厂或工具制造商的需要,提供用于分析目标物种的预设配方,包括现有的相关化学品。
可扩展的内置多路复用系统可最大限度地降低每个采样点的分析成本。通过Modbus TCP的远程操作和数据传输允许集成到工业系统中。它可作为独立仪器或与Pfeiffer真空APA 302 FOUP分析仪完全集成。AMC Monitor是一款经济高效的一体式解决方案,可满足当前和未来的VOC监控要求。