图片提供:XEI科学公司。
XEI科学inc .)宣布释放Evactron®E50 2017显微镜和显微分析会议在圣路易斯,密苏里州,Evactron E50设计提供了一种新的等离子体清洗方法对所有机型的sem和谎言。
远程等离子体源的Evactron E50空心阴极从XEI科学使用50瓦与空气产生流动余辉清洗,去除碳化合物与涡轮分子泵从真空室操作。独特的新系统即时从任何真空点火水平。紧凑和强大,它使用一个50瓦空心阴极电极产生等离子体。大多数商用远程等离子体源设计了半导体设备,因此通常走低的等离子体清洗其他真空系统。2020欧洲杯下注官网Evactron系统是专门用于清洁安全电子显微镜。这种高速率过程在几分钟内清洗,去除碳期间获得接触环境空气、系统组装,可怜的真空实践,等等。去除碳加速抽气时间,提高仪器的性能和停止由带电粒子束碳沉积在光学和其他敏感表面。
XEI等离子R & D小组设计了E50系统50瓦特清洁电力,提供快速、可靠高性能清洗。关键射频发生器和阻抗匹配是相同的单位用于XEI的功能齐全的Evactron De-Contaminators。流动余辉给高氧自由基浓度快速清洗由于长2 - 20的平均自由路径毫托地区。固定输入气体流速无需压力表和可变天然气阀门和控制流。专利申请了独特的激进和可靠的等离子体源。CE认证、NRTL Semi-S2和RoHS合规是悬而未决。
前面板只有一个控制:一个开/关开关,在射频功率和气体流室开始清洁等离子体。蓝牙连接到平板电脑可以用来设定清洗时间,循环清洗,如果需要和能力水平。使用单位需要安装在真空室(KF40或CF 2.75法兰),真空和电力应用,等离子体。
XEI已经售出超过2600 Evactron系统在世界范围内,解决污染问题在许多不同的环境在低和高真空包括电子显微镜、撒谎和其他真空样品室。每个系统都有一个5年有限质量保证。E50 XEI最新的创新,将显示在第75届显微镜和显微分析会议上被关押在圣路易斯,密苏里州,从8月6 - 10,2017。