图片来源：布鲁克
At the Microscopy & Microanalysis 2017 Meeting Bruker today presents XMethod, the world’s first software package for the analysis of composition and thickness of single or multiple layers, based on data obtained by sample excitation with the XTrace micro-focus X-ray source for scanning electron microscopes (SEM). The software enables the characterization of thin films and multi-layer structures of thickness ranging from a few nanometers up to 40 microns without the need for cross sectioning the sample.
与具有高能电子的样品激发相比，X射线激发产生显着提高了检测的极限，尤其是对于高Z元素，并且还可以获取有关表面下几十微米的材料的信息。这些功能使Xmethod与Xtrace结合使用，成为SEM中层堆栈厚度和组成分析的理想工具。典型的层厚度应用包括在印刷电路板，铅框架和芯片载体以及太阳能电池上的涂料上对连接器引脚或焊料的分析。
Xmethod软件包含一个强大的方法编辑器，该编辑器允许创建无标准或基于标准的多层量化方法及其校准。
作为独立Micro-XRF仪器的领先提供商，我们以这样一个事实感到自豪，即随着Xmethod的引入，SEM用户现在还可以利用Micro-XRF技术来分析薄膜，多层结构或多层结构或涂料。
布鲁克纳米分析部高级产品管理Andreas Kahl