Picosun Oy(芬兰),石英玻璃微系统公司AB(瑞典),和飞马化工有限公司(英国)联手开发和提供小说“肾上腺脑白质退化症”(原子层沉积)对MEMS(微机电系统)行业的解决方案和流程。合作的目的是实现新兴,先进的MEMS结构不可能制造其他薄膜沉积方法。
今天,MEMS是至关重要的组件在一些日常应用,如手机、汽车和各传感器系统。除了这些已经巨大市场,物联网的快速传播数十亿的独立通信电子设备是一个巨大的驱动力,加快MEMS行业的指数增长在不久的将来。
Picosun-Silex-Pegasus协作,PICOSUN™ALD集群平台安装在Jarfalla Silex的MEMS铸造,瑞典。平台由一个完全自动化、工厂集成盒对盒真空机器人为基质处理和PICOSUN™p - 300 f ALD反应堆能够涂层25个人电脑在一批8英寸晶圆。安装反应堆可以存款各种金属氧化物,金属氮化物,纯金属在每月成千上万的晶片(*)。
飞马研发和制造所需的易制毒化学品退化过程和为单独的应用程序提供了技术支持和交付选项。集群平台可以与另外两个后来升级ALD反应堆。合作,工程师和科学家从所有三个合作伙伴共同努力,解决MEMS加工中存在的问题,以及开发全新的小说如何实现MEMS设备上开口。
自2010年以来,我们一直使用Picosun和现在这个项目我们可以把我们的合作提高到一个全新的水平。我们非常兴奋有PICOSUN™ALD集群平台在我们的洁净室。它使我们能够发展小说,production-proven ALD在先进的MEMS应用程序解决方案为我们的客户。
Niklas Svedin博士,负责工程的副总裁Silex微系统。
“这对我们是一个有价值的项目,使用ALD MEMS加工增加非常快。我们已经在MEMS市场,但是新的应用程序每周我们要保持我们的带头位置在这个发展。现在在萨拉丁项目我们有合作伙伴与我们也可以测试和开发自己的新想法如何在MEMS工艺流程中实现“肾上腺脑白质退化症”,“继续先生Juhana Kostamo, Picosun的董事总经理。
MEMS产业是一个快速增长的市场,对我们来说是非常有趣的参与过程中引入开创性ALD集群平台。我们渴望在前线的化学发展这一领域,专注于先进的MEMS应用程序。
技术总监保罗·威廉姆斯博士飞马的化学物质。
(*)吞吐量计算10纳米氧化铝,90%的系统正常运行时间。