Picosun Oy是针对全球行业的原子层沉积（ALD）薄膜涂料技术的领先供应商，与Stmicroelectronics S.R.L.的合作伙伴开发用于高级电力电子产品的下一代300毫米生产解决方案。
电力电子组件正是我们社会许多核心要素的核心，在这里节能，自然资源的保证使用以及二氧化碳排放减少被要求提供可持续的未来。具有可再生能源的能源生产，例如风能和太阳能，用电动汽车和火车的清洁运输以及具有能源智能电力管理和工厂自动化的工业制造是对先进电力组件的需求正在增加的主要市场。
大多数电力半导体行业都使用200毫米晶片作为底物。转移至300毫米，通过较大的材料损失较小，可以更有效，生态和经济生产，并且适应新型制造工艺（例如ALD）可以使较小的芯片尺寸随着整合水平的提高而较小。
作为资助项目R3-Powerup（*）的一部分，Picosun的Picoplatform™300 ALD群集工具将经过优化和验证，用于300毫米电源电子组件的生产。SEMI S2认证的Picoplatform™300群集工具由两个Picosun™P-300 ALD反应器组成，一个专用于High-K介电氧化物，一个用于硝酸盐，连接在一起，并在恒定的真空中与中央真空吸尘器在中央真空机器人机器人底物处理单元进行操作。ALD反应堆配备了Picosun的专有Picoflow™功能，该功能可实现高纵横比的共形ALD沉积，最高可达1：2500甚至更高。用FOUP端口的EFEM实现底物加载。全自动集群工具可以集成到生产线中，并通过SECS/GEM接口连接到出厂主机。
“我们的picoplatform™300群集工具已经证明了它们在常规IC应用中的强度，因此扩展到功率半导体是自然的。我们很高兴与STMicroelectronics等公司合作，以量身定制和验证我们300毫米ALD生产解决方案，以实现这一快速增长的市场。这也是为欧洲半导体行业做出贡献的主要机会，并利用ALD来为全球生态和社会挑战（例如气候变化和自然资源衰落）提供技术解决方案，” Picosun的总监Juhana Kostamo总结说。。
Picosun提供了最先进的ALD薄膜涂料技术，以使工业飞跃进入未来，并在该领域具有交钥匙生产解决方案和无与伦比的专业知识。如今，Picosun™ALD设备正在全球2020欧洲杯下注官网许多主要行业的日常制造中使用。Picosun总部位于芬兰，在欧洲，北美，新加坡，台湾，中国和日本设有子公司，以及全球销售和支持网络。
（*）185 m€项目R3-Powerup由ECSEL JU资助，并于2017年11月至2021年4月。该项目由Stmicroelectronics协调。