图片来源:Thermo Fisher Scientific
半导体晶圆制造厂和超高纯度化学供应商现在可以通过一种新型的三重四极电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)，提供每万亿次检测-使其成为超净应用的理想解决方案。
该创新系统旨在以最小的误差实现卓越的生产效率，为晶圆制造过程中超纯化学品的常规检测和质量控制提供一致的性能和可靠的数据。增强的Thermo Scientific iCAP TQs ICP-MS系统将在奥兰多奥兰治县会议中心2018 Pittcon(展位2353)首次亮相。
越来越需要推动探测的边界，特别是在半导体行业和相关的工业应用。我们增强的iCAP TQs ICP-MS将使客户能够确保晶圆制造过程中的质量控制，并最终提高半导体晶圆成品率。
Miguel Faustino, Thermo Fisher Scientific的痕量元素分析、色谱和质谱高级总监和总经理
通过简化现有产品线的工作流程，iCAP TQs ICP-MS保留了尺寸和易用性的所有优势，同时通过冷等离子体操作和强大的三重四极干扰去除的组合，还提供了更好的数据质量和性能。当结合Thermo Scientific Qtegra智能科学数据软件，一个直观的用户界面和反应查找工具，制造设施可以减少费时的方法开发，更高效，更快。
该系统需要最少的用户维护，包括一个完全惰性样品导入系统，一个用于洁净室环境的干泵和一个专用的气体分配单元，用于实验室安全和最大的灵活性。一个紧凑的占地面积的人机工程学台式设计限制了宝贵的实验室空间的使用，并促进了与专门设计的外围设备的集成，用于在线监测过程化学品或气相沉积(VPD)分析。
欲了解更多信息，请访问www.thermofisher.com/ICP-MS．