Hiden RGA系列用于真空过程分析的四极杆质谱仪进一步扩展,包括从一般真空监测到专门的环境和研发应用的系统。
Hiden HAL/3F系列具有三级质量过滤器,提高了绝对灵敏度和质量分辨率,丰度灵敏度扩展到仅5 ppm /十亿(ppb),通过测量空气中的大气氙。具有快速数字检测的可选版本——HAL PIC系列——提供了最快的响应,同时具有连续7年的动态范围和仅为10E-15毫巴的最小可检测分压。
最新增加的是Hiden DLS-20和HAL 101X系统。DLS-20具有最大的质量过滤器,极径为20毫米,专为需要最大质量分辨率的特殊应用而设计,如氘和氦的分离,质量为4 amu,具有最佳的丰度灵敏度。HAL 101X是专为在硬辐射环境下操作而设计的产品,该系统采用了一种创新技术,使所有有源电子元件安装在距离真空计100米的地方即可操作。
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