爱德华兹真空，真空和减排解决方案的领先制造商，宣布在全球安装10,000个爱德华兹内燃减排系统的里程碑。据爱德华兹计算，其减排体系在2017年减少了相当于1400多万吨二氧化碳的排放量。
“我们的Atlas消除方案的安全性和效率是我们与全球客户成功合作的关键因素，”Scott Balaguer，半导体部门北美副总裁兼总经理说。“我们的应用支持团队与客户之间的密切合作至关重要;这使我们能够为特定的半导体工艺开发并不断改进解决方案。”
巴拉格尔补充说，“今天，我们庆祝这一具有里程碑意义的赞扬成功的伙伴关系，我们多年来曾与我们的客户。这些合作伙伴关系使我们能够真正了解我们的客户不断变化的过程，并制定其需求的最佳解决方案。”
自20多年前该产品推出以来，爱德华兹已经在全球范围内的半导体工厂安装了10,000个内燃燃烧系统。第一个独立的内燃燃烧减少系统于1994年推出，作为减少半导体晶圆厂温室气体排放的解决方案。从那时起，Atlas平台已经扩展到包括独立的减排和集成的真空/减排模型，包括针对特定半导体工艺的变体(以及特定气体和排放的减排)，并在每种情况下提供最佳的性能和效率。许多最初建造的系统至今仍在晶圆厂中运行。
关于爱德华兹的更多信息可以在www.edwardsvacuum.com上找到