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组合xy-lift-theta自动化阶段

从Intellidrives，Inc。2018年8月29日

Intellidrives技术满足了对高精度的需求，紧凑的XYZR阶段满足了扫描显微镜，晶圆和印刷电路板检查，自动组装以及广泛的样品和样品在许多类型的成像技术和微型图技术中进行扫描的独特需求，并加工应用。

通过稳定的闭环控制系统和相关的操纵杆选项的组合可以轻松实现非常精确的精细定位和控制。这些阶段可以用步进电动机和带编码器的无刷伺服电动机机动

可选的高分辨率，非接触线性编码器。该非接触式编码器在一系列操作条件上提供了出色的可重复性和稳定性。数字和模拟输出版本均具有亚微米范围内的分辨率。

Multiaxis XY-Z-ROTARY系统-www.intellidrives.com

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Intellidrives，Inc ..（2018年8月29日）。组合xy-lift-theta自动化阶段。azom。于2022年6月7日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=49556检索。
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Intellidrives，Inc.。“组合xy-lift-theta自动化阶段”。azom。2022年6月7日。。
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Intellidrives，Inc.。“组合xy-lift-theta自动化阶段”。azom。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=49556。（2022年6月7日访问）。
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Intellidrives，Inc.。2018年。组合xy-lift-theta自动化阶段。Azom，2022年6月7日，//www.wireless-io.com/news.aspx?newsid=49556。