全球第一:贺利厄斯·布莱克。红外线提高半导体生产加热过程的效率

一种新的红外发射器设计优化了在超纯真空条件下的均匀加热过程，并应用于光伏和玻璃涂层

9月初在台北举行的SEMICON台湾展上，贺利士诺blelight将呈现黑色。红外线，半导体和光伏产业的全球第一。创新的红外系统功能根据一个全新的发射器原理。平面的，低轮廓的发射器被石英玻璃材料包围，例如一种特别开发的石英玻璃，这种组合有助于在高能量密度下非常均匀地传递红外热。这使得加热过程在空间和能源上都更有效率。在空间短而快速的地方，需要均匀加热，切换到黑色。红外线可以显著缩短加工时间，并显著提高质量，如在微芯片生产中。

该发射器也适用于超纯工艺和真空条件。与传统的陶瓷和金属发射器相比，该工艺可以在晶圆生产过程中最小化杂质。贺利厄斯诺布尔公司副总裁罗尔夫·迪尔解释说:“黑色。红外线的开发是考虑到半导体生产和光伏的苛刻要求。这种设计和发射器技术的结合是真空条件下高效、超纯加热过程的革命性突破。”

创新对于半导体行业来说尤其有趣
半导体工艺技术是在智能手机等微芯片生产过程中进行干燥或加热的多重热工艺。在这个过程中，避免微芯片中的化学杂质和颗粒在单个生产过程中进入是很重要的。欧洲杯猜球平台在制造过程中，即使是最微小的杂质也会导致微芯片出现缺陷，进而无法使用。新的贺利厄斯发射器使用一种特别开发的石英玻璃作为载体材料。由于它的高化学纯度(它只由硅和氧组成)，它最适合这些热过程。黑色的。红外发射器的构造使其能够在相对接近的地方实现最大可能的均匀性。这有助于优化地使用流程空间。

试验和开发项目表明，这种新组合具有很高的同质性，并对排放源进行了优化调整，有助于提高能源效率。“黑色的。红外发射器首次将2.5微米左右的中波范围内具有高光学性能的红外发射器组合在一起。这种组合是独一无二的，”Rolf Diehl说。在未来，额外的工业加热过程也可以受益于新的红外系统，因为中波长的红外发射器特别适合于玻璃、塑料和大多数涂层。

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