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XY线性定位台带直线电机,高精度和高速线性编码器

v - 738xy平移台是一种计算机可控、高精度、孔径清晰的两轴定位系统。

v - 738xy定位器,有清晰的孔径

为了满足最高的精度要求,v - 738xy平移台设计为三件排列,以提高几何性能。与两个单轴平动工作台用螺栓固定在一起的xy级组件相比,集成的平面设计提供了更好的正交性(<100µrad)和直线度/平整度(2µm)。

由于改进的支持,平面XY级比单轴线性级的XY组合更硬和弯曲少,特别是当单个轴移动到他们的极端位置。集成XY定位台常用于工业自动化应用和精密机械,包括半导体和平板显示测试和制造。

直线电机-直接驱动-高速度和加速度
三相无刷电机线性驱动两个轴,将驱动力(峰值200N)直接传递到运动平台,无摩擦。该无铁电机提供更平稳的运行与更好的速度控制,由于缺乏齿槽效应造成的永磁体。加速度1G,最大速度0.5m/s。xy行程范围为每轴100mm。V-7系列的其他成员包括v - 731 XY阶段具有200x200毫米的行程和v - 741 XY阶段与300年x300mm旅行。

线性编码器-纳米分辨率
集成光学线性编码器的位置分辨率可降至1纳米,机械位置重复性为0.1µm,实现最小增量运动20纳米。

计算机控制
提供各种精密运动控制器,从模块化到台式设备。为了获得最高的性能,PI推荐使用ACS的产品线EtherCat兼容的精密运动控制器。

应用程序
激光加工、高精度医疗制造、光学扫描、生物纳米技术、计量、自动光学检测、显微技术。

来源:物理学Instrumente

引用

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  • 美国心理学协会

    PI(物理仪器)LP。(2019年2月28日)。XY线性定位台带直线电机,高精度和高速线性编码器。AZoM。2021年6月24日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=49735获取。

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    PI(物理仪器)LP。“XY线性定位台带直线电机,高精度和高速线性编码器”。AZoM.2021年6月24日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=49735 >。

  • 芝加哥

    PI(物理仪器)LP。“XY线性定位台带直线电机,高精度和高速线性编码器”。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=49735。(访问2021年6月24日)。

  • 哈佛大学

    PI(物理仪器)LP。2019.XY线性定位台带直线电机,高精度和高速线性编码器.AZoM, 2021年6月24日观看,//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=49735。

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