v - 738xy平移台是一种计算机可控、高精度、孔径清晰的两轴定位系统。
为了满足最高的精度要求,v - 738xy平移台设计为三件排列,以提高几何性能。与两个单轴平动工作台用螺栓固定在一起的xy级组件相比,集成的平面设计提供了更好的正交性(<100µrad)和直线度/平整度(2µm)。
由于改进的支持,平面XY级比单轴线性级的XY组合更硬和弯曲少,特别是当单个轴移动到他们的极端位置。集成XY定位台常用于工业自动化应用和精密机械,包括半导体和平板显示测试和制造。
直线电机-直接驱动-高速度和加速度
三相无刷电机线性驱动两个轴,将驱动力(峰值200N)直接传递到运动平台,无摩擦。该无铁电机提供更平稳的运行与更好的速度控制,由于缺乏齿槽效应造成的永磁体。加速度1G,最大速度0.5m/s。xy行程范围为每轴100mm。V-7系列的其他成员包括v - 731 XY阶段具有200x200毫米的行程和v - 741 XY阶段与300年x300mm旅行。
线性编码器-纳米分辨率
集成光学线性编码器的位置分辨率可降至1纳米,机械位置重复性为0.1µm,实现最小增量运动20纳米。
计算机控制
提供各种精密运动控制器,从模块化到台式设备。为了获得最高的性能,PI推荐使用ACS的产品线EtherCat兼容的精密运动控制器。
应用程序
激光加工、高精度医疗制造、光学扫描、生物纳米技术、计量、自动光学检测、显微技术。
来源:物理学Instrumente