ClassOne Technology是200mm及以下半导体制造行业新型湿处理工具的主要供应商,今天宣布将其旗舰产品Solstice®S8湿处理工具出售给德国柏林的Ferdinand-Braun-Institute (FBH)。作为III-V化合物半导体制造领域的领先研究机构,FBH致力于为通信、能源、健康和移动等多个行业的前沿微波和光电子器件制造原型。
“Solstice非常适合FBH专门从事的III-V化合物半导体工艺,”FBH工艺技术部负责人Olaf Krüger解释说。Solstice平台的灵活性使FBH能够在一个工具上高效地自动化多个不同的流程。我们希望保留我们的研究环境中所需要的细粒度控制,以及完整的盒式磁带到盒式磁带自动化带来的额外生产好处。”
FBH是化合物半导体行业不断增长的趋势的最新例子,即需要集成电镀相关工艺作为综合电镀解决方案的一部分。ClassOne的八室Solstice S8将为FBH提供一系列复杂的电镀和湿处理能力。特别的是,镀金将由ClassOne的两个一流的GoldPro™室完成,一个新的高压喷雾溶剂室将处理高效的金属剥离。ClassOne将Solstice平台上与电镀相关的各种湿处理能力称为“电镀+”TM.
“Plating-Plus的配置灵活性TM我们的电镀室的卓越质量是ClassOne成为化合物半导体行业首选供应商的原因,”ClassOne欧洲业务总监Roland Seitz说。“Solstice非常适合复合半导体的复杂加工要求。通过在单个工具上安装多个相关工艺,FBH将享受到其他供应商无法实现的加工效率和设备质量。”
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