在今年的SEMICON®韩国大会上，爱德华兹将提出创新的解决方案，帮助芯片制造商在当今苛刻和多样化的市场中保持竞争力。在更小的技术节点上，对更复杂设计的需求不断增长，这导致了许多不同的半导体制造工艺，它们使用各种各样的技术方法和材料——所有这些都依赖于新的真空和消减方法来成功实施。欧洲杯足球竞彩
爱德华兹今年正在庆祝科技创新100周年。它将在韩国SEMICON的两场演讲中展示创新、生产力和安全的新方法:
“CVD前体和相关副产物-确保最大的室生产率，”Al Brightman，高级产品经理，爱德华兹。本文将提出最佳真空解决方案，以减少设备停机时间和提高生产效率。2020欧洲杯下注官网此外，健康和安全风险可大大降低(1月23日星期三，308室)。
“通过室内真空工艺实现3D和高长宽比蚀刻技术”，来自爱德华兹的应用经理Adam Stover。本文不仅将讨论传统泵送的挑战和已证实的解决方案，还将讨论新的应用挑战，这些挑战可能会给更复杂的3D NAND、PRAM和其他设备结构带来潜在的挑战。
在其展位(D104)上，爱德华兹将展示其广受欢迎的下一代iXH干式真空泵，这是专门为处理可冷凝气体而设计的。它为严酷的过程提供了更高的温度能力。
Edwards Korea总经理Jason Yun表示:“安全有效的过程废气管理是当今日益受到关注的问题，特别是随着全球范围内排放限制的日益严格。”“与此同时，先进的技术正在引入新的材料和工艺，这带来了挑战，每一个都需要优化的真空和消除解决方案。欧洲杯足球竞彩例如，我们的下一代iXH泵是专门设计来防止可凝物质在泵内积聚的。”欧洲杯足球竞彩Yun补充说:“今年是Edwards成立100周年，我们期待继续与客户紧密合作，创造解决方案，使他们能够创新。”
参观韩国SEMICON D104展位的Edwards，了解更多的子晶圆解决方案和增值服务。SEMICON Korea将于1月23日至25日在韩国首尔COEX举行。关于爱德华兹的更多信息可以在www.edwardsvacuum.com上找到。