全球光谱仪器和解决方案的领导者HORIBA Scientific宣布发布其新型XGT-9000 x射线分析显微镜(μXRF),该显微镜可以在不破坏或接触样品的情况下同时进行元素分析和光学观察。XGT-9000融合了世界上分辨率最高的HORIBA专有x射线技术,不仅可以屏蔽锂离子电池、食品、化妆品、制药等生产过程中经常出现问题的异物,还可以分析半导体集成电路等微物体中的元素。它还可以高精度地测量薄膜厚度和粘附量。
XGT-9000结合了高分辨率显微镜和高强度x射线束的特点,对样品进行无损异物分析,并在高速分析模式和详细分析模式之间切换,快速筛选异物,使用早期模型中首次引入的微束。
XGT-9000具有亮场同轴、暗场、传输三种照明方式。结合亮场同轴照明和暗场照明,可以清晰地观察平坦或不均匀区域的样品,如半导体晶圆和薄膜。
XGT-9000提供了高度精确和快速的异物分析,使其能够探测到可见的异物和只有几微米(= 1/ 1000毫米)大小的不可见异物。用高清晰度光学图像观察这些单一的异物可以防止性能、外观和质量下降或严重的机械故障。
与光学观察图像同轴的辐照x射线使精确分析没有错位。高清晰度光学图像提高了异物的能见度,直到最近,这些异物都很难观测到。
其他改进包括缩短分析时间,增强映射和图像处理,以及易于与其他分析设备结合。2020欧洲杯下注官网该软件包包括定量和定性化学分析、厚度测定和图像分析功能。
本仪器是食品和药品中异物分析的理想仪器。该分析仪也被用于提高研发效率和广泛领域的质量控制,包括大型印刷电路板的失效分析,金属材料的无损分析,薄膜厚度的测量,欧洲杯足球竞彩以及越来越小型化的半导体集成电路和连接电极上的粘附量。
Sergey Mamedov博士,HORIBA Scientific的拉曼和XRF应用科学家
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