Brooks Instrument是先进流量、压力、真空和蒸汽输送解决方案的世界领导者，将在上海举行的中国半导体技术国际会议（CSTIC）上与半导体中国2019联合展示其新的GP200系列基于压力的质量流量控制器（P-MFC）。
3月18日至19日，CSTIC在上海国际会议中心举行，3月20日至22日，半导体中国在上海新国际博览中心举行。对于半导体中国公司，布鲁克斯仪器公司将与其区域业务合作伙伴SCH电子有限公司在N33675展位共同参展。
会议期间，布鲁克斯仪器公司首席技术官Mohamed Saleem将在题为“用于先进半导体加工的基于压差传感器的新型质量流量控制器”的演讲中讨论新型GP200 P-MFC的设计、操作和性能
GP200 P-MFC专为早期检测潜在工艺问题而设计，可对关键气体输送应用进行精确和可重复的控制，并对动态入口和出口压力条件完全不敏感。工艺气体精度为+/-1%，重复性为设定值的+/-0.15%。
Brooks Instrument基于绝对压力和压差传感器的组合开发了GP200 P-MFC，其中使用一个压差传感器而不是两个绝对压力传感器来计算压降。
这种技术的优点是不需要有匹配的绝对传感器，因此可以防止不受控制的漂移和流量不准确，从而提高流量测量的精确度和重复性萨利姆说。“我们很高兴能与客户交谈，并在科技创新委员会会议和中国半导体展上展示这项新技术。”
除了新的GP200 P-MFC，Brooks Instrument还将在Semico China推出其他半导体产品，包括业界领先的GF125系列MFC、带高速以太网的GF125®，GF100系列高流量MFC和VDM300蒸汽输送模块，现在配备EtherCAT®.
有关Brooks Instrument全套半导体应用产品和解决方案的更多信息，请访问www.brooksininstrument.com.
资料来源：https://www.brooksinstrument.com/en