Picosun集团是全球工业ALD(原子层沉积)薄膜涂层解决方案的领先供应商，开发了一种卓越的质量ALD氧化钇工艺，用于在恶劣环境下的腐蚀保护。
氧化钇，又名氧化钇，Y2O3，是一种极其坚硬，致密，机械强度高的材料，具有优异的化学和耐腐蚀性能和很高的熔点。这些特性使其成为极端操作条件下应用的理想保护涂层。这些应用的一些例子是各种半导体生产设备和金属生产。2020欧洲杯下注官网Y2O3也被用作新型微电子器件的高k栅介质，如碳基元件、薄膜晶体管和锗金属氧化物半导体。
氧化钇涂层通常是用物理气相沉积、电子束蒸发或溅射方法生产的，但ALD比这些技术有几个优点。ald制造的氧化钇薄膜本质上是无针孔的，密度极高，超薄，高度均匀，它们可以覆盖表面上最小的纳米级细节、空隙、弯道和台阶。与传统方法相比，用少量的薄膜厚度实现这些性能可以节省成本和材料。欧洲杯足球竞彩由于ALD工艺是基于气体反应物之间自发的表面化学反应，它对涂层表面很温和，如果需要，可以在中等温度下使用。成本效益高、产量高的氧化钇涂层可以在Picosun的工业验证Picosun™P-1000和P-300B ALD设备(*)中实现。2020欧洲杯下注官网
“我们的高产量ALD机械，如PICOSUN™P-1000和P-300B反应堆，自推出以来一直取得巨大成功。通过这种设备，我们可2020欧洲杯下注官网以将ALD应用到全新的应用领域，例如各种机械部件的表面保护和功能化，硬币和手表部件的防锈和装饰涂层，以及医疗设备的生物兼容涂层的生产。现在，我们的高质量氧化钇工艺，升级到我们的高容量反应器的生产，使革命性的ALD解决方案，在那些需要持久和可靠的表面保护，以应对极端条件的行业，”Picosun集团的CTO Jani Kivioja博士说。
(*)更详细的工艺数据和报价，请联系(电子邮件保护)！