爱德华兹利用100年的技术创新，为苛刻的工艺能力、可靠性和较低的拥有成本制定了新的标准。
伯吉斯希尔，西萨塞克斯，英国（2019年3月14日）-爱德华兹宣布新的IXH MK2系列-一种高效率，低功耗，超苛刻的干式泵，满足今天的半导体工艺要求，并解决明天新出现的应用程序挑战在半导体、显示器、LED和太阳能光伏制造过程中。爱德华兹将于3月20日至22日在上海SNIEC举行的Semico®China（中国FPD 1309展位）上展示新的iXH Mk2解决方案。
爱德华兹高级产品经理Al Brightman说：“新的iXH Mk2干式泵在最苛刻的工艺条件下比前几代产品的使用寿命更长。它还可以显著提高功率效率。”。“利用100年的技术创新，我们为苛刻的工艺能力、可靠性和低拥有成本“重新设置了标准”。iXH降低了半导体制造中某些最苛刻工艺对环境的影响。”
参观展台，了解iXH Mk2如何解决高k、低k、SACVD、LPCVD、ALD、TCO、GaN和EPI等新兴工艺挑战。有关爱德华兹的更多信息，请访问www.edwardsvacuum.com.