动态气体生成领袖RASIRC将新数据流程优化低温ALD肾上腺白质退化症患者为工业在即将到来的2019年会议。发表了题为《优化的演讲质量从低蒸汽压前兆通过过程控制”定于周三十三50,3月20日,ALD前体发展会议的一部分。RASIRC黄金赞助商和参展商在事件3月19日至20日在柏林举行,德国。
“控制交付低蒸气压的液体是具有挑战性的,但有必要,为低温热“肾上腺脑白质退化症”,“Jeffrey Spiegelman说总裁和创始人。“我们的数据表明,吞吐量和前体利用率可以通过精确控制优化流程中涉及的许多变量,导致一致的和监管的气。”
ALD工业是一个年度事件由欧洲社会薄膜(efd)。新材料和欧洲杯足球竞彩复杂的3 d结构现在常见的许多半导体和显示设备需要在原子层淀积和较低的温度。RASIRC控制交付是一个领袖的高活性氧化剂和氮化物低温热退化。
Spiegelman将发现自动化测试程序模拟过程食谱共同点“肾上腺脑白质退化症”的条件。收集的数据量化质量流率在不同的工艺条件。Spiegelman也将用于回答问题和讨论研究结果RASIRC展览。
关于RASIRC产品
蛮®过氧化氢是一种新型氧化剂改善钝化和成核密度在电影接口相比其他氧化剂。表面功能化的密度和启动更快使用这种无水过氧化氢气体与选择。这种高反应活性可以少使用化学和更高的吞吐量将需要清洗时间可以更短。
蛮®肼使保形增长与低wet-etch-rates罪。蛮®联氨气体几乎是水自由和安全处理的相对较高的闪点。高活性,蛮肼创建统一的低温氮化硅沉积的先进材料。欧洲杯足球竞彩
的RASIRC Peroxidizer®提供了大量的活性H2O2/小时2阿高吞吐量ALD的混合物。这种活性气体发生器是理想的精密卷绕对位ALD涂料要求高速沉积在降低温度。
额外的RASIRC产品包括喷淋设备®加湿系统(RHS)和过氧化氢轮船(HPS)。为氧化应用程序,生成水蒸气,HPS提供表面清洗,预处理,潮湿的热氧化和清除残余碳。
来源:http://www.rasirc.com