整体式旋转靶标比粘结目标具有优势:更大的材料利用率和更高的功率密度。Plansee现在已经获得了内部保护层的专利,该保护层可确保涂层材料不再直接与系统的冷却水接触。
Plansee的钼涂料材料用于多种应用中,例如在CIGS太欧洲杯足球竞彩阳能电池中的后触点或平板屏幕中的薄膜晶体管中的后触点。和整体目标提供了优势。这是因为整体靶标不需要靠背管,因为它们是从钼中赚取的100%。与键合目标相比,材料利用率增加了30%。整体目标的使用还允许高达30 kW/m的功率密度,这意味着更高的涂层速率。
单片目标与涂料系统的冷却水直接接触。冷却水含有添加剂或“抑制剂”,以稳定电导率和pH值。这些必须定期添加。Plansee的基于聚合物的内部涂层可防止涂层材料与冷却水接触。优势:CIGS太阳能电池和TFT LCD屏幕的制造商所需的抑制剂明显减少并节省成本。此外,内部涂层是如此薄,以至于它不会明显损害旋转靶的导热率。
资源:http://www.plansee.com/en/index.html