更严格的IPCC指南包括CF的会计4副产品的形成和排放。
刚刚发布的,刚刚发布了关于评估与气候变化有关的科学的“气候变化(IPCC)的政府间变革专员(IPCC)”欧洲杯线上买球最新的改进到了2006年的指导方针。作为解决气候变化的努力的一部分,精制法规加强了半导体制造中使用的新温室气体的控制,并增加了制造商的报告和问责要求。
IPCC已经认识到,在大气中测量的温室气体量与从已知的发射来源计算的量计算的温室气体之间存在差距。对于全氟化合物(PFCs)等气体,差距特别关注,这不仅具有极高的全球变暖潜力(GWP),而且在大气中具有极长的寿命,只要50,000年。
Mike Czerniak教授,布里斯托尔大学客座工业教授,爱德华兹大学环境解决方案业务发展经理。
确定了在半导体制造过程中形成PFC的两种新机制,并在IPCC的最新改进中增加了排放因素:
- CF4当清洗化学气相沉积(CVD)室沉积时形成。
- CF4在燃料和工艺室废水混合的系统中,以燃烧为基础的减碳过程中氟与碳氢燃料反应生成的物质。
Czerniak教授说:“有史以来第一次,有了一个新的燃烧减氟排放因子——现在需要直接问责,以设备制造商的数据支持认证的形式,使反应最小化。”2020欧洲杯下注官网“通过适当的燃烧室设计,PFC的形成可以最小化。”
Edwards的内向燃烧燃烧器避免了室内排气和燃料的混合,在其他设计中,可以导致PFC的生产,在那里它们在原始排气流中不存在。向内发射燃烧器的较低,更均匀的温度曲线确保了高销毁去除效率(DRE),具有低NOx。由于公司开始在20世纪90年代开始发展,内向燃烧的燃烧器已经是Edwards的减排系统标准。
参观爱德华兹(展位#750)Semicon West.了解有关最新的IPCC指南和减少温室气体的最佳实践。Semicon West于2019年7月9日至11日,在加利福尼亚州旧金山。有关Edwards的其他信息可以找到www.edwardsvacuum.com.
关于Edwards.
Edwards于2019年庆祝其100年的生日。创始人FD Edwards,首先通过在伦敦南部的一名小型办公室提供真空设备;2020欧洲杯下注官网100年后,爱德华兹拥有全球超过6,000名员工,从事高科技真空和排气管理设备的设计,制造和支持。2020欧洲杯下注官网
爱德华兹的创新对于半导体、平板显示器、led和太阳能电池的制造过程是不可或缺的。它们也被用于越来越多样化的工业过程,包括电力、玻璃和其他涂层应用;钢铁和其他冶金;制药和化工;以及广泛的研发应用的科学仪器。爱德华兹在欧洲、亚洲和北美拥有最先进的生产设施。
关于政府间气候变化专门委员会(IPCC)
IPCC是支持《联合国气候变化框架公约》(UNFCCC)的科学组织。IPCC的报告由联合国和世界气象组织组织,为促成1997年《京都议定书》和2015年《巴黎协定》的国际气候谈判提供了科学依据。IPCC每5-7年审查一次气候变化的科学状况。欧洲杯线上买球欲了解更多信息,请访问https://www.ipcc.ch.