Sentech Instruments是基于光谱椭圆形测定法的蚀刻和沉积和薄膜计量仪器的等离子体工艺技术设备的领先供应商。2020欧洲杯下注官网
SENTECH自豪地推出了用于传感器和MEMS生产的全自动计量质量控制的SENDURO®MEMS。senuro®MEMS使用光谱反射仪和椭偏仪提供了可靠和精确的薄膜堆栈测量。
定制测量设备2020欧洲杯下注官网
配备反射仪的Senduro®MEM是用于快速薄膜测量。结合膜厚度和光学常数的光谱椭圆仪测量，以及多层堆叠的分析。SendUro®MEM可以配置在反射测量仪和椭圆测量中的μPIP测量，以及提供精确的测量位置的模式识别。所有测量均可与边缘握把技术相结合。
基于Sentech最精确的步骤扫描分析仪测量模式，通过光谱反射测定法和光谱椭圆形式的组合提供了薄膜分析方面的最高柔韧性和精度。它由Sentech综合谱/ 4软件运营。SEC / GEM软件接口选项支持出厂主机（MES）和生产设备（Senduro®MEMS）之间的通信。2020欧洲杯下注官网
自动晶圆处理
Senduro®MEMS允许处理双面晶片。具有小边缘排除的边缘抓握晶片处理可任选地提供100毫米，150毫米和200毫米晶圆。
该工具配有机器人和预调控器，用于使用盒式磁带加载自动晶圆。单点和多点测量值高达200 mm x-y映射。图案识别可用于微细光谱光谱椭圆形测量法（100×100μm2）和微孔反射率（80μm2）。
各种材料的测量欧洲杯足球竞彩
Senduro®MEMS是一种全自动薄膜计量工具，用于测量各种材料，例如氧化硅，氮化硅，氮氧化硅;欧洲杯足球竞彩非晶硅，多晶硅;光致抗蚀剂，聚酰亚胺;Al，Pt，Cr和TiN，Tan，TCO和ITO的薄金属薄膜;在硅晶片上，硅绝缘体衬底，硅膜，硅，SiC等硅，SiC等，用于MEMS和传感器欧洲杯足球竞彩生产的单薄膜和层堆叠。
Senduro®MEMS完全适用于通过在一个工具中的椭圆形和反射测量组合进行测量速度，精度和光斑尺寸。对于MEMS和传感器制造行业，该系统是一种成本效益的资产。