今天，从半导体工艺设备的全球制造商OEM Group开始，推出了Torrent™喷雾酸工具（SAT），这是世界上最先进的批处理喷雾工具，用于半导体湿蚀刻和清洁过程2020欧洲杯下注官网。
具有专有的独立流量控制喷嘴，晶圆到磁力可重复性，密封的PVDF坦克，Smart Parts™智能等等，洪流定义了用于半导体制造，高级包装，Optoelectronics，Mem和Compoctronics，Mems and Componductors的湿晶片处理应用中的新常态。
“工业4.0正在为5G，人工智能，机器学习，边缘计算和自动驾驶汽车等技术创造一个拐点，从而增加了对高密度设备，传感器和电源电子设备的需求。”OEM集团总裁Spencer Wall说。“随着设备尺寸继续缩小，各种各样的技术要求进行异质集成，瞄准后端晶圆级流程的最佳类工具至关重要。”
满足高级晶圆级包装过程的严格规格，例如在颠簸金属化，重新分布层模式和高卷中的背面晶圆稀疏，需要市场上最先进的制造设备。2020欧洲杯下注官网具体而言，对于MEM和复合半导体，用于金属蚀刻和聚合物去除的300mm工艺解决方案的需求量很高。
“我们设计了洪流，以满足当今和未来的湿晶片加工生产需求。”OEM集团全球产品营销经理Rich Maduzia说。“基于生产预先验证的Semitool和Cintillio平台，我们添加了增强功能来扩展过程窗口，创建了一个更具用户友好的界面，并通过构建智能来改进控件。我们认为，该工具是世界上最先进的批处理喷雾工具。”
除了控制流量高达40/lpm的专有可调节的Accuflow喷嘴外，Torrent SAT还具有易于访问和适当放置的过滤器，以消除可能阻碍流量的气体锁。该工艺室的设计具有改进的排水通道输出。增加的腔室深度消除了所谓的第一辆滤网效应，这种效应发生在闲置时间后的前几个晶圆的运行时，这种效应就会发生在最佳的处理之后，并且必须被废弃，从而影响产量。
动态温度控制允许工艺温度从0°C到80°C。带有插入物的常见转子设计使洪流非常适合桥梁工具和具有多个底物尺寸的晶圆厂，最大为300mm。其他功能包括：
- 无维护的密封罐，消除了内部工具泄漏的风险
- 带拉出的PLC抽屉，可轻松维护和故障排除
- 使用图形用户界面的下一代软件以及使用Windows 10时的宽触摸屏功能
- 离线食谱编辑器和下载，以便更轻松的食谱创建和编辑
洪流平台也可以为喷雾溶剂应用配置。
要了解有关Torrent SAT的更多信息，请在531号展位的Semicon West期间访问我们，或在位于Samovar餐厅的Kiterocket Lounge举行会议。
来源：https://www.oemgroupinc.com/