EV集团和Schott合作伙伴将演示用于大容量增强/混合现实玻璃制造的300mm纳米压印光刻的准备情况

EV集团(EVG)是MEMS、纳米技术和半导体市场的晶圆键合和光刻设备的领先供应商，今天宣布与SCHOTT合作，SCHOTT是特种玻璃和2020欧洲杯下注官网玻璃陶瓷领域的全球领先技术集团之一。演示用于下一代增强/混合现实(AR/MR)耳机波导/光波导制造的高折射率(HRI)玻璃晶圆的大容量图版的300毫米(12英寸)纳米压印光刻(NIL)的准备情况。

这项合作涉及EVG的专利SmartNIL^®工艺和SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶片，并将在EVG的NILPhotonics内进行^®该公司在奥地利总部的能力中心。在9月4日至7日于深圳会议中心举行的中国国际光电博览会(CIOE)上，肖特公司将展示采用EVG公司SmartNIL技术的300mm肖特RealView™玻璃晶片。

“将高折射率玻璃晶圆的生产规模扩大到300毫米是实现规模经济产量的关键，我们的客户需要规模经济来满足当今和未来领先的AR/MR设备日益增长的市场需求。”SCHOTT的增强现实主管Ruediger Sprengard博士说道。“通过这一共同努力，EVG和SCHOTT正在展示目前300毫米高分辨率玻璃制造的设备和供应链准备就绪情况。”2020欧洲杯下注官网

到目前为止，在光子学应用中使用NIL在玻璃衬底上绘制结构的应用仅限于200毫米衬底。向300mm晶圆加工的过渡是将AR/MR耳机带入大众消费和工业市场的重要一步。然而，在这些较大的基片上保持高质量和工艺均匀性是很难控制的，需要先进的自动化和工艺控制能力。EVG的SmartNIL技术是多年研究、开发和解决纳米图案需求的现场经验的结果，并已被现场证明易于扩展，从模具级样品尺寸一直到大面积基底。今年6月，EVG推出了HERCULES^®它将SmartNIL引入到300毫米的制造中，以支持各种设备和应用的生产需求，包括用于AR、MR和虚拟现实(VR)头盔的光学设备，以及3D传感器、生物医疗设备、纳米光子和等离子体。

“成立于2014年，EVG的NILPhotonics能力中心为NIL供应链上的各种合作伙伴和公司提供了一个开放存取的创新孵化器，与EVG合作，缩短创新光子器件和应用的开发周期和上市时间。”EV Group公司技术开发和知识产权总监Markus Wimplinger表示。“我们很高兴能与SCHOTT等公司合作，展示EVG的NIL解决方案的价值，不仅有助于新技术和工艺的开发，而且还加快了它们进入大众市场的速度。我们目前与SCHOTT合作的这项工作证明了NIL设备和工艺的成熟，并为各种令人兴奋的基于光子的新产品和应用的300毫米制造奠定了基础。”2020欧洲杯下注官网

SCHOTT RealView™高折射率玻璃晶片是领先的AR/MR器件的关键部件，可大规模生产。该产品组合的折射率最高可达1.9，使深度沉浸式AR/MR应用，视野可达65度。经过多年与AR硬件制造商的合作研究和开发，SCHOTT于2018年推出了第一代SCHOTT RealView™。在上市仅一年后，这款高端产品就赢得了享有盛誉的SID Display Industry Award 2019。

一份白皮书详细介绍了EVG的SmartNIL技术用于高分辨率眼镜和防静电剂的好处，可从EVG的网站下载:https://www.evgroup.com/fileadmin/media/products/NIL/SmartNIL_with_High_Refractive_Index_White_Paper.pdf

来源:http://www.evgroup.com/en/