当纳米定位器的主要供应商Physik Instrumente（PI）需要表征和量化其PICMAWALK定位器的性能时，Zygo的ZMI™位移测量干涉仪是正确的选择。
ZMI™产品可将分辨率降低到0.154 nm的现实世界噪声限制性能，并具有模块化组件，从而允许灵活的配置和简单的扩展。这种级别的性能是通过使用FM无线电等载波频率进行高保真测量的杂作干涉测量法实现的。
在最近发表的技术论文和视频中，PI描述了他们如何使用Zygo ZMI™系统来证明其PICMAWALK PISTISER的能力，可以使用闭环控制可靠，重复地以0.5 nm的步骤移动。
使用外部Zygo干涉仪控制PI定位器
干涉仪的信号在这里用于在封闭的伺服回路中操作定位器。除干涉仪外，所有所需的组件均由Pi（Physik Instrumente）提供，因此来自单个来源。可以扩展或改进许多应用程序。http://bit.ly/2tgz1vj
在PICMAWALK设置中，PI使用由7702激光头，差异干涉仪（DPMI）和4104C测量板组成的Zygo ZMI设置在其N-331定位器上关闭环路。
解锁纳米位置系统的全部电力
PI的N-331定位器带有可选的内部参考线性编码器，分辨率为10 nm。通过桥接PI的E-712运动控制器和Zygo的4104C板之间的通信，PI能够控制和测量其阶段的运动，以明确定义的0.5 nm增量，这远低于内部传感器的噪声底。（请参见下图。）这表明，使用ZMI系统提供闭环位置反馈有助于解锁PI的N-331 Positeer系统的全部潜力。除了使用ZMI系统表征其纳米位置系统的PI外，PI还向需要最高的精度和性能水平的客户推荐了Zygo系统。
循环误差减少
PI在此设置中使用的ZMI 4104C板具有将非线性循环误差降低到测量噪声层中的能力。循环误差项是所有位移干涉测量测量中固有的。Zygo激光头和光学组件设计和制造，以达到名义上1 nm的低环误差。相反，来自其他制造商的干涉仪系统的循环误差可能高达10-20 nm！
尽管对于小纳米步骤的演示不是必不可少的，但在较大运动范围内需要纳米水平精度的情况下，环状误差补偿至关重要。下面的图像例证了Zygo ZMI系统可以提供的性能和补偿类型。
结论
在纳米位置的世界中，精确，重复地移动，检测和测量小动作的能力（按纳米的顺序）至关重要，并且需要诸如Zygo纳米位置传感器之类的先进技术。使用Zygo的一流的计量和反馈来解锁定位系统的最佳性能。
Zygo通过提供数据，图像，视频链接和技术审查，感谢您在此博客文章上的帮助，感谢Physik Instrumente的帮助。
资源：https://www.zygo.com/