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牛津仪器为HLJ科技有限公司提供用于6英寸VCSELS制造的等离子刻蚀和沉积解决方案

从牛津仪器等离子体技术2019年10月2

为激光制造市场提供等离子刻蚀和沉积光电子解决方案的领先供应商牛津仪器等离子技术公司近日宣布，总部位于新初的HLJ科技有限公司台湾已经在集群平台上选择了多个牛津仪器电感耦合等离子体(ICP)蚀刻和等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统来生产6英寸VCSEL晶圆。

HLJ是台湾VCSEL生产的先驱，在国际上享有盛誉。为了提高生产效率，加快对生产周期、产能和质量的控制，HLJ公司近期建成了一条6英寸VCSEL晶圆量产线。内部线集成外延结构设计，成长，晶圆工艺和可靠性测试。HLJ致力于为全球用户提供一站式VCSEL设备购物服务。

我们选择牛津仪器公司来提供我们的ICP蚀刻和PECVD系统，因为他们提供尖端的等离子处理解决方案和无与伦比的工艺支持，这对我们来说是无价的。

黎博士，总经理，HLJ

的眼镜蛇ICP和PECVD工艺解决方案旨在支持前沿器件制造，如vcsel。

我们很高兴HLJ选择了多个牛津仪器系统来生产高技术VCSEL设备。我们将继续加强我们作为化合物半导体解决方案提供商的地位，包括VCSEL市场。这一伙伴关系加强了我们提高市场领先生产能力的承诺

伊恩·巴克郡博士，牛津仪器公司首席执行官

引用

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美国心理学协会
牛津仪器等离子体技术。(2019年10月02)。牛津仪器为HLJ科技有限公司提供用于6英寸VCSELS制造的等离子刻蚀和沉积解决方案。AZoM。2021年6月20日从//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=52229获取。
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牛津仪器等离子体技术。牛津仪器为HLJ科技有限公司提供用于6英寸VCSELS制造的等离子刻蚀和沉积解决方案。AZoM．2021年6月20日。< //www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=52229 >。
芝加哥
牛津仪器等离子体技术。牛津仪器为HLJ科技有限公司提供用于6英寸VCSELS制造的等离子刻蚀和沉积解决方案。AZoM。//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=52229。(访问2021年6月20日)。
哈佛大学
牛津仪器等离子体技术。2019。牛津仪器为HLJ科技有限公司提供用于6英寸VCSELS制造的等离子刻蚀和沉积解决方案．AZoM, 2021年6月20日观看，//www.wireless-io.com/news.aspx?newsID=52229。