Picosun的ALD技术有助于抵抗气候变化

Picosun的原子层沉积（ALD）薄膜屏障涂层技术提供了消除使用危险工艺气体，六氟化物的解决方案（SF_6.）和三氟化氮（NF_3.）。

在当前的化学气相沉积（CVD）涂布方法中，需要生长相对厚的薄膜，以获得所需的性能水平，以达到例如所需的规格。防潮屏障，耐腐蚀，钝化或绝缘应用。由于涂层设备的壁上的快速膜积聚，必须定期清洁沉积室的薄膜残留物。2020欧洲杯下注官网这通常由腔室清洁过程与SF进行完成_6.或nf._3.等离子体。

SF._6.是最强大的温室气体，已知，全球变暖潜力为22600倍₂（对于NF._3.，系数为17200），它保持在大气中至少1000年。SF._6.仅2017年欧盟的排放单独拥有温室气体效果，平等为1,400万辆汽车。因此，这些气体的使用可能是持续审查和增加的调节。

通过切换到PICOSUN的ALD纳米胺屏障技术，可以通过极薄的无针孔膜获得无与伦比的屏障性能。这也消除了在每几个过程运行后清洁沉积设备的需要。2020欧洲杯下注官网在典型的生产使用中，Picosun的ALD反应室仅在每3-6个月内清洁一次，并且简单的机械珠爆炸而不是氟基等离子体处理足够。

“我们在PicoSun希望为可持续的未来雇用我们的ALD技术。以各种可能的手段对抗气候变化需要创新的行业和解决方案提供商之间的合作。通过用环境妥协，能量和资源密集型方法制造的厚涂层，通过我们的超薄ALD薄膜堆叠，获得显着的材料和成本节省，并且设备清洁中不需要危险气体，“2020欧洲杯下注官网汇总PicoSun集团副首席执行官Juhana Kostamo先生。

来源：www.picosun.com.