2006年5月8日
Axcelis技术已收到的订单的最适条件HD高剂量离子注入机从一个世界上最大的存储设备制造商。Axcelis最新工具的最适条件离子植入家庭,最适条件高清是行业唯一的解决传统高剂量的离子注入机植入物以及不断扩大的范围包括氢分子和移植的应用程序。该系统将船在2006年第二季度亚洲。
“Axcelis有非常强有力的伙伴关系与芯片制造商,我们兴奋地与这个新秩序进一步扩大我们的技术关系,”玛丽说彪马Axcelis董事长兼首席执行官。“最适条件高清的灵活性是一个关键优势,他们作决定时我们的客户价值。今天的能力执行常规高剂量植入,以及无与伦比的可扩展性为未来设备制造业发展趋势,包括双多晶硅栅和氢的应用程序,最适条件高清最合乎逻辑的选择。”
最适条件高清涵盖所有传统高剂量植入,同时提供重要的中期剂量应用重叠最大的多功能性和资本效率。最适条件高清使用Axcelis提供精确的植入物的植入先进的点波束技术,导致异常一致性和可重复性。Axcelis自营RadiusScanTM端站进一步提高生产力,使系统覆盖非常广泛的剂量范围。
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