牛津仪器等离子技术(Oxford Instruments Plasma Technology)是等离子和离子束处理设备的领先供应商,今天推出了PTIQ,一种用于他们的前沿等离子处理系2020欧洲杯下注官网统的新系列控制软件。
Plasma Technology创新与解决方案总监Frazer Anderson评论道:“PTIQ软件旨在为我们的客户提供卓越的响应性系统控制、可靠性和可重复性。它将优化他们的过程性能,无论是在实验室或Fab。我们认识到我们的研发和大批量生产(HVM)客户有不同的需求,而PTIQ通过不同级别的软件来满足这些需求。”
弗雷泽继续说:“PTIQ符合SEMI E95标准,便于快速、无错误的流程设置,并提供每日、每周和每月的自动检查,以优化运行时间,这对我们的HVM客户至关重要。它还通过指纹和腔匹配帮助提高产量,并具有灵活的批调度程序,允许吞吐量优化。它是可定制的错误,多用户操作在任何洁净室的环境,我们知道这将是我们的客户在研究设施的巨大利益。我们还包括一个食谱编辑器,匹配牛津仪器过程数据表,方便,无错误的传送食谱。
这款革命性的软件现在可用于购买新的系统,并作为PlasmaPro现有客户的升级®或Plasmalab®系统。
Plasma Technology客户服务总监Dean Furlong表示:“我们的系统寿命很长,我们希望现有客户能够受益于这种新软件,以优化他们现有设备的操作和过程性能。2020欧洲杯下注官网PlasmaPro和Plasmalab系统可以立即升级,包括传送食谱的能力。”
如欲了解更多有关PTIQ的信息,请访问https://plasma.oxinst.com/ptiq
来源:https://plasma.oxinst.com/