Entegris为半导体行业至关重要的化学送货系统介绍了创新解决方案

Ontegris，Inc。欧洲杯足球竞彩manufacture of today’s advanced technology chips.

不锈钢流体管理系统传统上用于运输溶剂和半导体制造中使用的其他易燃化学品，已不能满足当今对超低金属杂质的日益增长的要求。因此，先进技术芯片制造商正从不锈钢系统转向含氟聚合物(PFA)系统。虽然PFA系统减少了不锈钢系统引入的金属污染，但由于PFA是一种不导电的电绝缘体，因此它为静电放电带来了新的挑战。

engtegris先进材料处理(AMH)部门流体管理副总裁Brett Reichow表示，欧洲杯足球竞彩“在流过化学输送系统的流体中，静电电荷的存在不仅会使系统中的流体处理组件受到静电放电事件的影响，还会导致硅片上的缺陷。静电放电也会在半导体制造过程中造成不安全的条件。”他说。

Entegris公司利用新材料开发了一种解决方案，该方案成功地降低了油管流体中积聚的静电欧洲杯足球竞彩荷以及油管外可能积聚的电荷。“entregris的创新系统的PFA管，”Reichow说，“内部有导电条纹，配件由导电PFA制造，当密封区域接触导电条纹时，创建一个到地面的路径。”

根据AMH部门高级副总裁Bill Shaner的介绍，integris得益于30多年来为高纯度处理市场提供创新连接技术，开发ESD解决方案，这同时提高了安全性，并减少了潜在的缺陷。“我们使用我们的专有制造设备和工艺共同挤出超纯PFA和导电PFA以创建一个单层。2020欧洲杯下注官网这种独特的PFA施工导致低金属污染，消除了分层风险和潜在的滞留区域，从而保持高化学纯度。这种新解决方案降低了安全风险，并最大限度地减少了财产损失的风险。此外，由于管道是半透明的，它允许目视检查流过系统的流体，“Shaner说。

金属提取测试的结果，entegris对新系统进行了表明它保持了与标准PFA管相似的纯度水平。此外，第三方测试公司确认了新系统的令人满意的接地性能。

Entegris的ESD系统新专利正在申请中沙说,“另一方面是旨在帮助微电子工业继续探讨清洁化学品送货系统的关键创新，以满足先进过程节点的需求。”

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