Picosun集团,AGILE ALD的领先供应商®用于工业制造的(原子层沉积)薄膜涂层解决方案,介绍PicoOS™,PICOSUN的全新全堆栈操作系统和过程控制软件®ALD设2020欧洲杯下注官网备。
“PicoOS™带来PICOSUN®ALD设2020欧洲杯下注官网备控制到现代时代。它专为晶圆厂和工业环境而设计,在运至业界4.0的过渡。Data-Driven Picoos™使未来的生产解决方案能够利用机器学习,人工智能,互联网和其他新的数字发明来实现最佳的工业效率,“Picosun Group的CTO Jani Kivioja博士说。
Picosun专有的PicoOS™软件将单个ALD模块、晶片处理和传输系统和仪器控制结合在一个通用图形HMI(人机界面)下。这确保了整个PICOSUN的操作、维护和配置简单、直观和友好®ALD集群。
PicoOS™能够通过SECS/GEM协议实现完全的工厂集成,流程和系统数据记录到20毫秒的速率,并实时输出所有数据,用于持续监控和进一步分析。
PicoOS™操作系统是由Picosun公司自己的内部软件团队专门为公司的全自动生产ALD系统morphher和Sprinter开发的,它将在未来的所有Picosun中实施®ALD的工具平台。
PicoOS™旨在确保最高的控制精度和准确性,最快的服务时间,并为我们的客户提供最佳的用户体验。拥有对PICOSUN所有功能和子组件的内部控制®ALD解决方案是我们整体服务模式的关键部分。”继续Kivioja。
PicoOS™具有可自由配置和可扩展的编辑器,可用于ALD工艺配方和处理作业的创建和存储,在ALD系统操作期间,可以随时编辑配方或创建新配方。可配置的用户级别和安全逻辑、仪表和联锁确保日常操作中的安全使用,并允许在维护情况下完全访问工具管理。软件内建的特定清理和维护序列加快了维护程序。
来源:http://www.picosun.com