Tescan alsay持有A.S.宣布释放Tescan摇摆舞台,是Tescan等离子Fib-SEM仪器的完全集成的组件,可与Tescan硬件和软件无缝操作。这款Tescan设计的摇摆阶段提供了新的功能,不适用于其他摇摆阶段配置,例如垂直于主级X轴倾斜的Y轴倾斜,以及对铣削过程的实时SEM监控,以精确终端指向。
摇摆阶段技术是改善表面质量和减轻窗帘的最有效的方法,这些窗口可以通过使用速度更高的材料去除而导致的速度。结果是在半导体故障分析和先进材料研究中的客户的优先事项,这就是为什么他们利用等离子FiB。欧洲杯足球竞彩Tescan摇摆阶段进一步有助于导致时间,因为在已经熟悉的Tescan精华GUI中执行设置和操作。另外,Tescan摇摆阶段不会妨碍其他硬件组件的操作。
LukášHladík,产品经理,Fib-SEM投资组合,半导体行业,Tescan
摇摆阶段设置向导允许用户设置自动铣削和摇摆工作流程,包括定义和存储两个或更多摇摆位置。Tescan摇摆阶段设计保留了FIB-SEM系统的多功能性,包括与负载锁,光束减速模式(BDM)和带动检测器完全兼容性。Tescan摇摆阶段可以容纳大或扁平的薄样本,最多4“晶圆。作为Tescan组件,所有对Tescan摇摆阶段的支持由Tescan处理。
Tescan摇摆阶段可以从2020年12月10日排序,作为新的Solaris X和琥珀色X等离子体Fib-SEM系统的选项。Solaris X和Amber X G4系列仪器的当前用户可以联系Tescan查询添加新的Tescan摇摆舞台。了解有关新Tescan摇摆阶段的更多信息在这里.