Tiger Optics推出了用于实时的新产品系列，Ultra-Trace检测CO和CO2

基于先进的激光的分析设备的开发和制造的世界领导者，推出了新的Halo MAX QCL产品系列，新一代腔响光谱（CRD）分析仪基于中红外量子级联激光器2020欧洲杯下注官网（QCL）技术。Tiger的QCL-CRD可以实时，零部件零件（PPT） - 痕量污染物检测，包括一氧化碳（CO）和二氧化碳（CO₂），在超高纯度（UHP）的气体典型地在半导体制造中使用。

现代半导体工厂需要极高纯度的气体保持低故障率和高收率。对于大宗气体如氮气，氩气，氧气（O₂），其他所需的纯度要求远低于1份用于污染物（如水分）（H.₂O），甲烷（CH_4.），co，和co₂。此外，低检测限和实时监测对于过程控制至关重要。新的Halo Max QCL扩展了Tiger的行业领先的产品组合，包括H的检测能力₂O，O-₂，CH._4.和合作社₂，为客户提供更完整的解决方案。

引入量子级联激光器（QCL）CRDS技术，与HALO最大QCL的释放，进入UHP半导体市场设置了在工艺气体键的杂质测量的新标准。半导体行业一直不稳定批量采样技术，这是困难和昂贵的操作受到影响。遗留气相色谱（GC）技术，例如，需要氦气载气来实现的ppt级灵敏度，这是一个主要的成本因素。与老虎Optics的CRDS系统，既标定也不载气是必需的，在超过数十万美元在仪器的使用寿命运营成本节约了。

“老虎光学很高兴能推出“这个首个一类结合了最先进的激光技术在市场分析。吉姆·贝朗格，副总裁，销售和市场营销虎光学与EXTREL说。“我们曾在密切协调与主要的半导体和工业用气客户，以确保我们解决他们的需求进行实时，连续的UHP气体分析。哈洛最大QCL为关键的杂质如CO和CO的测定₂在主半导体本体工艺气体设定为在线连续UHP气体分析一个新的标准“。

来源：https://www.tigeroptics.com/