TESCAN纳米机械手是专为TESCAN SEM和FIB-SEM仪器设计的,为用户提供了一个减少振动的解决方案,还提供了与TESCAN显微镜操作软件完全兼容的优势。
TESCAN ORSAY HOLDING a.s.宣布发布他们的nanomaniator,这是一个完全集成的解决方案,支持在室温和低温条件下,在TESCAN SEM和FIB-SEM仪器上进行提出以及微和纳米尺度操作。TESCAN纳米操纵器是TEM片层提升、原型操作和局部电荷耗散应用的优秀解决方案,也不需要样品旋转或高级操作能力。TESCAN的设计减少了提升或操作过程中的振动,使运动平稳和可预测。
因为这个解决方案是在TESCAN内部设计的,专门为TESCAN仪器设计的,我们能够控制最终产品的质量,确保其与系统上其他硬件和软件的兼容性,并在交付前在仪器上进行测试。我们相信,我们的用户的需求不需要复杂的提升和操作将欣赏选择有我们的纳米操纵器在他们的系统。
Lukáš Hladík, TESCAN半导体市场FIB-SEM产品经理
TESCAN纳米机械手提供沿X、Y和Z轴的运动。直接从TESCAN的Essence显微镜操作软件中的一个模块进行控制,nanom机械手操作无需离开显微镜实时视图窗口,使用鼠标手势进行导航。TESCAN纳米操纵器的一些常见应用包括TEM片层提出、用于原型应用的微或纳米操纵、在TESCAN TRUE-X切片方法中精确放置Si掩膜以在非常高的等离子- fib铣削速率下进行屏蔽抑制,以及局部电荷耗散。
TESCAN纳米操纵臂还设计用于快速和方便的探针交换,其纳米操纵臂可以从腔室内卸下,用于探针尖端交换。
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