牛津仪器等离子技术(Oxford Instruments Plasma Technology)是一家用于大批量生产和研发的等离子处理解决方案的领先供应商，该公司很高兴地宣布其参与了欧洲石墨烯旗舰项目资助的“2D实验试点生产线”。
欧洲领先的半导体铸造厂和研究机构正在共同努力，创建世界上第一条生产线，将二维(2D)材料增强的半导体技术从实验室带到商业设备。欧洲杯足球竞彩
牛津仪器公司很荣幸成为这次跨欧洲合作中唯一的原子层沉积(ALD)硬件和工艺解决方案合作伙伴，继续其与创新的全球合作伙伴合作的战略，将领先的研究转化为制造环境，推动器件性能的改善。该项目由欧盟委员会资助，将在4年内投资2000万欧元。该项目将于2020年10月1日启动，为基于2D材料的电子、光子学和传感器的原型生产建立一个欧洲生态系统。欧洲杯足球竞彩
二维材欧洲杯足球竞彩料已被证明在传感器和光子学等广泛应用中具有优越的器件性能。将这些器件推向市场的下一步是开发全晶圆的加工流程。牛津仪器的理想定位是帮助将该技术提升到下一个水平，为200毫米晶圆上的单晶圆等离子体处理解决方案提供了清晰的路线图。
牛津仪器公司已经成功地在亚琛AMO安装了Atomfab远程等离子ALD系统，以支持在200毫米晶圆上制造这些设备。创新的等离子体ALD系统已经证明了在2D材料上沉积高k材料的能力，而不会造成层损伤。欧洲杯足球竞彩Atomfab是专门为大批量生产而设计的，具有市场领先的吞吐量和拥有成本，可在单个晶圆加工平台上提供远程等离子ALD，处理直径达200毫米的晶圆。
新的ALD工具将帮助AMO和2D实验试验线(2D- epl)将2D材料的研究提升到更高的制造准备水平。欧洲杯足球竞彩我们谈论的不仅仅是另一种工具，而是AMO和牛津仪器之间的战略伙伴关系，在AMO内嵌入牛津仪器的专业科学家，以加强对2D材料的研究和开发。欧洲杯足球竞彩AMO的使命是通过与工业伙伴的联合研发项目来寻求技术转移，这种紧密的合作是一个很好的例子。
Max Lemme教授，AMO主任
对下一代2020欧洲杯下注官网材料装置的设备需求达到了一个新的水平。我们所需要的是高性能且同时具有成本效益的解决方案——这些标准并不总是容易调和的，因此只能通过卓越的工艺技术来实现。因此，我们非常高兴地看到，这条与世界领先的设备制造商连接的开拓性试验线将充分利用我们先进的Atomfab ALD技术。通过与这样的世界领先联盟合作，我们继续建立我们的战略，通过投资有前景的技术，如今天的2D材料，使高性能设备的制造成为可能。欧洲杯足球竞彩
Klaas Wisniewski，牛津仪器等离子体技术战略业务发展总监
在过去的十年中，研究发现了二维材料的一些独特特性，显示出解决未来电子和光子器件和传感器的一些关键性能瓶颈的潜力。欧洲杯足球竞彩虽然有许多实验室类型的原型设备展示了超越最先进水平的性能，但为了将这些设备引入市场，我们需要开发工具包和bkm，用于制造符合半导体行业标准的2D材料。欧洲杯足球竞彩Imec正在领导2D实验试点生产线的努力，以建立一个工业生态系统，以推动2D材料的技术准备，我们期待与牛津仪器和该联盟中的其他工具和材料供应商合作。欧洲杯足球竞彩
Cedric Huyghebaert, 2D-EPL项目技术领导
牛津仪器继续开发和支持市场领先的原子尺度制造解决方案，这对制造二维材料支持的设备至关重要。欧洲杯足球竞彩