Tescan alsay持有A.S.宣布发布其新的MultiVac模块，以提供为Tescan SEM添加低真空和可变压力能力的选项。变化的室内气氛是用于减轻电荷，其天然状态的成像样品的建立技术，以及与气态二次电子检测器（GSE）组合，使得在低KEV或低光束电流下能够高倍率地形成像。
含有光元件的样品在电子束下更透明，这使得它们更容易充电，而是使用单独的低光束电压来解决充电装置，即您可能会错过来自样本的重要地形信息。我们开发了MultiVac来解决电荷控制和对高倍率低keV成像的需求，可透露在非导电，光束敏感和除气样品上的细表面细节。
Petr Klimek，Tescan产品营销经理
Multivac在n中运行2和H.2O气氛以及延长的可变压力（3-500Pa）。
MultiVac的GSD，当在H中使用时2o气氛，擅长增强对比度并在低kev和低电流下实现高分辨率成像，以进行详细的地形表征。与低真空模式不同，其中气体分子有效地降低信号收集，GSD在可变压力下2O大气检测电离分子，其充当信号增强剂，并在低keV和低光束电流下容易地产生图像的样品。
Multivac与Tescan SEM无缝集成，与Essence™EDS，Tescan碰撞模型，光学导航和相关相机等其他Tescan功能兼容，以及Tescan宽场成像模式。与其他TESCAN硬件和软件解决方案一样，MultiVac直接从Tescan的Essence™软件控制，为所有用户提供高质量的表征并可访问。
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