芬兰ESPOO, 2021年4月13日消息——Picosun集团已经证明，Picosun®P-300BV ALD系统显著提高了其LED和OLED客户的生产效率。最近的测试表明，减少ALD工艺周期时间和增加以相同薄膜厚度沉积的晶片数量，可以提高几乎100%的吞吐量。100片晶片的生产能力可达到每月20,000片以上。与此同时，在片间、片间以及批间测量时，过程质量在膜厚度均匀性方面保持在极好的水平(<1% 1sigma)。
“Picosun ALD解决方案已经成为大批量ALD制造的标准。PICOSUN®P-300BV ALD系统是专门为生产led和oled而设计的。凭借我们在ALD领域的经验和深厚的专业知识，我们不断努力将总拥有成本降至最低，并确保为我们的客户提供未来保障。
全球LED和OLED制造商信任ALD在他们的生产中实现更好的设备性能和更长的产品寿命。这是由ALD沉积的薄、保形、均匀和无针孔的材料层的结果，用于钝化和防潮，以及创建缓冲区和界面层。
4”100晶片，>20000 WPM， <1% 1sigma WiW， <1% 1sigma WtW， <1% 1sigma BtB (120 nm TMA + H2O @ 200)C)
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Picosun为全球行业提供最先进的AGILE ALD®(原子层沉积)薄膜镀膜解决方案。Picosun的ALD解决方案使技术跨越到未来，通过交钥匙生产流程和该领域无与伦比的开创性专业知识——可追溯到技术本身的发明。今天，PICOSUN®ALD设备在世界各2020欧洲杯下注官网地众多领先行业的日常制造使用。Picosun总部位于芬兰，在德国、美国、新加坡、日本、韩国、中国大陆和台湾设有分支机构，在印度和法国设有办事处，并在全球拥有销售和支持网络。访问www.picosun.com．