美国激光气体分析仪制造商Tiger Optics近日发布了一款基于中红外量子级联激光(QCL)技术的新型腔衰荡光谱(CRDS)分析仪。
作为该公司新HALO Max WCL产品线的一部分,该分析仪能够对微量污染物(包括一氧化碳(CO)和二氧化碳(CO))进行实时、万亿份(ppt)级的检测2),通常用于半导体制造的超高纯度(UHP)气体。
Tiger Optics在分享发布细节时表示,新的HALO Max QCL扩展了现有的产品组合,包括H2O, O2, CH4,CO和CO2,为客户提供更完整的解决方案。
“Tiger Optics很高兴推出这款结合了市场上最先进的激光技术的首个分析仪,”Tiger Optics & Extrel销售和市场副总裁Jim Belanger说。
“我们与关键的半导体和工业气体客户密切合作,确保满足他们对实时、连续超高压气体分析的要求。”
HALO Max QCL用于测量CO和CO等关键杂质2为在线连续超高压气体分析制定了新的标准。”
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