Sensofar是一家专注于非接触式表面计量领域的技术公司，该公司开发了一种新技术，利用S neox 3D光学轮廓仪和Linnik干涉仪以及Linkam公司的LTS420温控室来表征样品表面形貌随温度的变化。该技术已成功地绘制了硅片表面粗糙度和波纹度的变化曲线温度高达380°C。
Linkam LTS420 - Sensofar的S neox系统与Linnik在实验室中使用
光学轮廓术是一种快速、无损、非接触式的表面测量技术，用于建立材料的表面形貌、台阶高度和表面粗糙度。欧洲杯足球竞彩它在许多研究领域有广泛的应用，包括分析油漆和涂层的表面纹理，分析微裂纹和划痕，并为结构材料(包括微电子)创建磨损轮廓，以及纹理或压花纳米级半导体组件的特征，欧洲杯足球竞彩比如硅片。
历史上，由于物镜前透镜和LTS420级石英窗口的球差随温度的变化而变化，导致成像问题，进行温控光学轮廓术实验一直很困难。
从硅片(a)样品a和(b)样品b中提取的对应于不同芯片设计的两个样品的堆叠4D地形视图，用于视觉对比样品从30ºC到380ºC时实验的弓变化．
通过使用Sensofar公司的新型Linnik干涉仪透镜系统和S neox 3D光学轮廓仪，结合Linkam公司的LTS420精密温度控制室，解决了球面像差问题，实现了在大范围温度下精确测量纳米尺度材料的三维地形轮廓。欧洲杯足球竞彩
在最近的一项使用新技术的实验中，我们能够观察的变化在地形的硅晶片作为他们进化与温度从20°C向上来380°C．这对硅片生产商和用户来说是至关重要的信息，因此他们可以优化工艺，提高半导体性能和硅片耐用性。Linkam LTS420室和T96温度控制器是我们实验设置的关键组件，使我们能够斜坡和控制温度在-195°C和420°C之间，精度为0.01°C．
David Páez, Sensofar销售支持专员
Sensofar的第五代S neox 3D光学轮廓仪是市场上最快的扫描共焦轮廓仪。它易于使用，与以前的型号相比有一些关键优势。桥式设计提供了更高的稳定性，传感器头采用改进的算法，生产出市场上最快的系统，没有移动部件，因此，最低的服务要求或需要广泛的校准。Linnik干涉仪和Linkam LTS420的加入使温度控制< -195°C到420°C。不同的亮场物镜与Linnik配置兼容，为需要高横向分辨率的应用提供高达37mm的工作距离和高达100倍的放大倍数。
几十年来，我们已经为从显微镜到x射线分析的各种技术提供了精确的温度和环境控制。这种合作突出了温度控制在促进材料特性创新方面的重要作用。我们非常高兴能够提供温控轮廓测量的解决方案，感谢Sensofar的Linnik干涉仪，我们期待看到这种新技术如何帮助许多科学领域的研究人员推进他们的研究和知识．
Robert Gurney, Linkam的应用专家
Linkam的LTS420是一个易于使用和非常多功能的加热和冻结阶段。该工作台由一个大面积的温控元件组成，传感器嵌入在靠近表面的位置，用于在< -195°C至420°C范围内的精确温度测量(与LNP96冷却泵一起使用时)。样品很容易安装在标准的显微镜载玻片上，与加热元件直接接触，可以在X和Y方向上操作15mm。样品室是气密的，并有阀门允许大气成分控制，并有湿度和电探头的选项。