牛津仪器等离子技术，等离子刻蚀和沉积解决方案的化合物半导体产业的领先供应商，很高兴地宣布，它已收到的订单为PlasmaPro 100 Estrelas等离子在路易斯维尔大学的蚀刻从工程的J. B.速度学院微/纳米技术中心（MNTC）系统。
路易斯维尔大学所购买的系统将被添加到该套件的制造设备在大学的$ 30M万英尺2020欧洲杯下注官网2洁净室，这是著名的美国国家科学基金会国家纳米技术网络的一部分。
这PlasmaPro 100 Estrelas平台设计，支持研究，开发和培训。它提供了最大的灵活性深硅蚀刻（DSiE）或具有的独特能力深反应离子蚀刻（DRIE）的应用程序以执行博世，低温DSiE和深氧化物/氮化物在同一平台上蚀刻无需硬件的改变。灵活性提供了一组不同的工艺要求微机电系统（MEMS），先进封装
和纳米技术市场
博世DSiE使用高密度等离子体源，可快速切换气体的能力具有优良的选择性，以实现剖面垂直性和高的蚀刻速率，以掩蔽材料。欧洲杯足球竞彩低温DSiE采用超低温使生产出光滑的侧壁的功能。
朱莉娅Aebersold的MNTC的经理说：“我们非常高兴能够提升我们目前DRIE能力显著与牛津的Estrelas DSiE系统。新系统将让我们的客户实现所需的侧壁光滑性和SOI蚀刻终止了微流控，机器人技术和气体诊断传感器的关键设计参数，我们以前无法实现“。
“牛津仪器一直与路易斯维尔大学的成功的合作关系，我们承诺将继续基于超过三十五年的经验和创新来证明我们的晶圆加工技术领先地位。路易斯维尔大学有来自安装在其工厂牛津仪器，我们很高兴能再次选择，以提供适用于他们的研究和教育培训的最佳制造工具等晶圆处理解决方案。”说Emiel Thijssen的，销售副总裁和业务发展，牛津大学仪器等离子技术，美洲。