用像差校正电子束光刻技术在单纳米分辨率上刻划硅

研究人员开发了一种创造纳米材料的创新技术。欧洲杯足球竞彩这些材料只有原子那么欧洲杯足球竞彩宽。它们利用纳米科学来让科学家控制它们欧洲杯线上买球的构造和行为。这种新的电子束纳米制造技术被称为等离子体工程。它实现了前所未有的近原子尺度的控制在硅上的图案。使用这种方法构建的结构产生了创纪录的电光性能调谐。

的影响

在这项研究中,科学家们使用等离子体工程来控制硅的光学和电子特性。该技术采用像差校正电子束光刻技术。这个过程包括使用电子束来修改材料的表面。等离子体工程允许研究人员在接近原子的尺度上修改材料。“传统”光刻的使用意味着这种方法有一天可以应用于工业应用。这种方法将使从事光通信、传感和量子计算的研究人员受益。

总结

在单纳米分辨率上对材料欧洲杯足球竞彩进行图形化设计,可以让科学家精确地设计量子限制效应。量子效应在这些长度尺度上是重要的,控制纳米结构的尺寸可以直接控制电学和光学性质。硅是目前电子领域应用最广泛的半导体材料,能够为新型器件工程制造最小尺寸的硅基器件是非常理想的。布鲁克海文功能性纳米材料中心(能源部用户设施)的研究人员使用像差校正电子束光刻结合干反应离子蚀刻技术来实现1欧洲杯足球竞彩纳米特征的图案,以及硅的表面和体积等离子体工程。这里所采用的纳米制造技术可以产生线边缘粗糙度为1纳米的纳米线。此外,这项工作证明了硅体积等离子体能从体积值调整1.2电子伏特,这比以前使用光刻方法的体积等离子体工程的尝试高出十倍。

资金

这项研究得到了美国能源部科学办公室的支持,并使用了功能纳米材料中心的资源,该中心是布鲁克海文国家实欧洲杯线上买球验室的科学办公室用户设施。欧洲杯足球竞彩

来源:https://www.energy.gov/

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