赫赞(Herzan)很高兴宣布Spicer Consulting:SC28监视系统的最新版本。
SC28 Monitoring Software
Image Credit: Herzan
SC28在实验室和半导体Fab中实现了磁场,振动和声学噪声以及温度和湿度的长期监测,不间断的监测。该系统是故意设计的,以监视电子束仪器的环境,包括扫描电子显微镜(SEM),传输电子显微镜(TEM),电子束光刻工具以及基于SEM的计量和检查工具。
盒子里有什么东西
The SC28 utilizes high-performance sensors and monitoring hardware to deliver a clear and comprehensive understanding of the environment being measured.
SC28 Monitoring Software
Image Credit: Herzan
监视系统:SC28/SI AC/DC
传感器:传感器SC24/DC+AC和传感器SC11/AC
声学麦克风:Brüel&Kjær4190麦克风
Vibration Sensors:Wilcoxon 731a加速度计(三个)
Temperature/Humidity Sensor:Sensor SC28/TH
独特的功能
SC28 Monitoring Software
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有目的设计:电子束仪器的长期环境监测
Complete Environmental Monitoring:continuously measure magnetic fields, floor vibration (X, Y, and Z), acoustic levels at 2kHz, and temperature/humidity at 1Hz or below
完全视觉:可以同时显示多达14个不同的图表
全面的收购:Acquires sensor data and logs spectra and charts to date-stamped files
Headless:可以在没有用户界面打开的情况下运行