Extrel是世界领先的研究和过程质谱仪制造商，随着新的VeraSpec的推出，它扩大了其高性能产品组合TM值超高纯度（UHP）气体污染分析的APIM。
图片来源：Extrel CMS
大气压电离质谱法（APIMS）被广泛接受为纯气体分析的强大工具，鉴于其独特的实时多组分测量能力降至每一千万级的水平。
Extrel是自1964年以来值得信赖的质谱仪来源，其新的Veraspec APIM可提供最佳性能，可靠性和易用性，从而实现对最关键的杂质的实时监测 - 微量氧气，水分，甲烷，一氧化碳，二氧化碳，二氧化碳，氨等等 - 在单个乐器中。
它是针对研究，电子气体和半导体应用开发的，它是第一个可用的Extrel APIMS系统，它结合了集成的触摸屏图形用户界面，以实现气体纯度的使用点视觉指示器，从而提高了操作效率。
VeraSpec APIMS非常简单，具有直观的基于Web的接口，该接口允许用户轻松地操作它，并可以单击按钮，可以查看仪器状态，查看数据趋势并进行详细分析。预定的自动校准选项还可以减少维护。
我们最新的VeraSpec APIMS系统结合了电子冲击和大气压力电离源。这种独特的双源电离配置提供了无与伦比的分析范围。它允许对一个系统中的纯气体样品（从PPT到％级别）中的所有组件进行完整的分析，从而使其具有极高的成本效益。
Extrel业务发展经理Chuck DeCarlo
Extrel将在Semicon West，Booth 933展示其气体分析解决方案。展位的访问者将了解VeraSpec APIMS系统如何监视具有最高敏感性和灵活性的各种气体和杂质。专家还将在现场讨论针对连续半导体散装气体纯度验证的表面成本效益的解决方案。
有关更多信息，请访问https://extrel.com/products/gas-analysis-systems/veraspec-trace-apims/。