NEMS器件的制造一个简单的3 d印刷过程

微机电(MEMS)设备是基于机电一体化组件千分尺规模。我们都使用它不断在我们的日常生活:例如在我们手机至少有12个MEMS调节不同的活动从运动、位置和倾角监测手机,有源滤波器为不同的通频带和麦克风本身。

更有趣的是这些设备的极端纳米小型化(NEMS),因为它提供了创建惯性的可能性,质量和力传感器的灵敏度与单分子相互作用。

然而,扩散NEMS传感器仍受限于传统硅基的高生产成本的技术。相反,3 d印刷等新技术表明,类似的结构可以以低成本和创建有趣的内在功能,但迄今为止质量传感器的性能差。

这篇文章“达到硅NEMS表演3 d打印机纳米机械谐振器”在著名的杂志上发表自然通讯显示了它是如何可能的获得机械nanoresonators从3 d打印数据品质因数等优点,出版的稳定性、灵敏度和质量强度与硅谐振器。这项研究的结果之间的协作Politecnico di都灵——由于斯特凡诺Stassi的研究活动和卡洛里恰尔迪的应用科学和Technology-DISAT毛罗·Tortello和Fabrizio Pirri(名称和MPNMT组),耶路撒冷希伯来大学的研究Ido Cooperstein和什洛莫Magdassi。欧洲杯线上买球

不同nanodevices(膜、悬臂、桥梁)双光子聚合新获得的液体成分,其次是一个热过程,消除了有机质含量,使陶瓷具有高刚度、低内部耗散结构。样品从而获得然后激光多普勒vibrometry的特征。

“的NEMS捏造和特征——解释斯特凡诺Stassi——机械性能符合当前硅设备,但是他们通过一个简单,更快和更通用的过程,由于它还可以添加新的chemical-physical功能。例如,在本文使用的材料是Nd: YAG,通常用作固态激光源红外范围”

“制造复杂的能力和微型设备类似于硅的性能-什洛莫Magdassi说通过用一种快速而简单的3 d印刷过程,给加法制造领域带来了新的视野和快速制造”。

工作是在研究项目主要开发2017 - Prot.20172TZHYX,由Ministero戴尔'Universita e德拉Ricerca(墙)和H2020场效应晶体管打开“Boheme”,由欧盟和以色列科学技术部和国家研究基金会,总理办公室,新加坡,在其校园卓越的研究和技术企业(创建)计划。欧洲杯线上买球

来源:https://www.polito.it/

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