小说研究钻石和相关材料欧洲杯足球竞彩着重于通过FeCoB腐蚀剂腐蚀模式的多晶金刚石。免受伤害的制造金刚石表面与降低缺陷是有可能的,因为这些改进的过程创新。
研究:空间选择性,使用光刻晶格FeCoB固态蚀刻的钻石。图片来源:Bjoern Wylezich / Shutterstock.com
电影通过一个固态扩散的过程,FeCoB纳米晶体(Fe:公司:B = 60:20:20原子比)允许维点阵目标,消除显微结构的钻石。
钻石的重要性
钻石具有明显的生化和视觉品质除了高弹性和韧性。其极端耐用性是一个进步在超精密加工的重要来源(金刚石车削技术)和道路数以百计的GPa的极端压力范围。
化学不渗透性、视觉耐用性和生物活性扩大利用这些功能特性的系统设计。钻石在机电一体化为自己开拓出一个地方,光学组件、传感和数据管理。
模式的钻石
允许他们的应用程序,将钻石及其模式提出了不同的问题。反应离子刻蚀(RIE)、电感耦合等离子体(ICP)和电子束诱导腐蚀的例子现有流程系统,使用etching-based技术(EBIE)。
钻石结构也已被创建使用激光和聚焦离子束(FIB)加工技术。制造工程的目标是加快分层,同时允许可伸缩性在广阔的地区在一个连续的生产结构。射流腐蚀剂(等离子体、气体和液体溶液)中使用这些程序,这限制了可能实现的几何复杂性。
物质烧蚀产生的化学气,聚晶金刚石利用FeCoB (Fe:公司:B 60:20:20原子百分比)在其表面设计了创新的工作。重点是模式的TM精确腐蚀m-scale结构钻石。底层的钻石是加上纳米晶体FeCoB通过热处理温度从700°C到900°C 30分钟到90分钟。
表面粗糙度结果
标本的原始层钻石是指示性的基本多晶微观结构。在每一个特殊的粒子,粗糙度(Ra)为3.84±0.47纳米,而总表面的粗糙度为9.6±1.2海里。的粗糙度(金刚砂)内植入FeCoB金属层是3.39±0.26海里,而层的高度是100±10纳米。
金属表面的厚度增加到600±100海里后30分钟的退火在800°C,而表面的粗糙度(Ra)攀升至224±22海里。在退火操作,碳原子扩散到FeCoB层,导致尺寸的增加。
蚀刻率分析
3标本100 nm厚FeCoB层被加热的温度在700°C, 800°C,分别和900°C。当温度范围700°C以下,钻石和FeCoB之间没有实质性接触发生,非常小的材料去除后发生水热法治疗。材料去除是增强,温度高达800°C。
当温度达到900°C时,蚀刻率的两倍时,温度为800°C。然而,蚀刻区域的形象植入腐蚀剂序列存在着显著差别(FeCoB)。
示意图显示可视化创建模式研究:固态腐蚀剂的空间选择性,使用光刻晶格FeCoB固态蚀刻的钻石。图片来源:王,z & Shankar m . r . et al .,钻石和相关材料欧洲杯足球竞彩
蚀刻深度
钻石的100海里FeCoB标本在800°C 30分钟,60分钟和90分钟。
随着时间的推移,蚀刻深度线性增长。
在800°C,雕刻区域的粗糙度(Ra)确定的函数响应时间。样品的硬度后30分钟、60分钟、90分钟和退火是186±28 nm, 203 26海里,分别和212年30 nm。500纳米蚀刻深度时,800海里,或100海里,雕刻区域强度蚀刻深度比(RD)是0.372,0.254,和0.212,分别。
蚀刻区域的粗糙度没有显著提高蚀刻深度增加。启动所需的温度钻石和TM蚀刻剂之间的反应被发现要大于700°C。
研究结果表明FeCoB使有效钻石去除速度大大快于铁或公司。
FeCoB通过调整结构和形态,未来的方法保留了有效的钻石开采和提高材料的选择性去除。
挑战
实现可预测的地形表面等级的能力是一个基本问题转移固体碱性解决方案的效用为制造微/纳米钻石底物扩展基础。关键是定位区域内的钻石和TM交互接口。
总结,固态编程的多晶金刚石表面有可能由于地理位置控制C在diamond-FeCoB表面扩散。在温度超过800°C,平版印刷蚀刻过渡金属涂层加速消除C从钻石。这种技术可能会进一步研究提高稳定性和蚀刻率。
引用
王,z & Shankar m R。,2021年。空间选择性,使用光刻晶格FeCoB固态蚀刻的钻石。钻石和相关材料。欧洲杯足球竞彩108763年。可以在:https://www.欧洲杯线上买球sciencedirect.com/science/article/pii/S0925963521005264?via%3Dihub
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