2006年6月29日
人:综合材料有限公司欧洲杯足球竞彩,加州桑尼维尔硅科技公司,是第一个也是唯一一个公司完善的生产聚欧洲杯线上买球硅炉为半导体制造装置。SiFusion技术,使第一个纯聚硅furnaceware前端热过程解决方案提供了一个突破。SiFusion™聚硅furnaceware改善工厂的生产力和降低成本为200毫米和300毫米热过程。
什么:综合材料将宣布一个主要的阵容欧洲杯足球竞彩之外SiFusion furnaceware提供晶圆厂改善炉正常运行时间,缺陷率和吞吐量。
SiFusion furnaceware,包括船只、注射器和基座,将综合材料的展台展出(# 2502,南厅)以及新SiFusion产品线,将显示。欧洲杯足球竞彩
此外,综合材料将分享客户有关的性能数据,证明可衡量欧洲杯足球竞彩的改进SiFusion。赖特·威廉姆斯最近的定量分析&凯利SiFusion所有权成本的氮化硅的应用将随着新的第二WWK研究检查SiFusion多晶硅的过程。
综合材料的SiFusi欧洲杯足球竞彩on炉组件和半导体晶圆厂获得动力,通过改善性能比传统的碳化硅和石英耗材。SiFusion furnaceware利用其具有离子纯聚硅基材减少缺陷密度,消除常规清洁和减少热过程的所有权的总成本。SiFusion 300毫米货架船最近被选中Aviza技术作为他们中的任一种组件rvp - 300 +™扩散炉。
SiFusion应用程序包括:
- 高温处理高达1350°C
- LPCVD流程,包括氮化硅和多晶硅
- HTO
- 200毫米和300毫米晶圆厂环境
- 兼容所有主流的炉OEM系统
时间和地点:
2006年7月11 - 13日,
半导体西2006
布斯# 2502,南大厅
Moscone中心
旧金山,加利福尼亚州。