电子设备,曾经被认为是科幻的东西成为现实由于微电子技术的进步——也被称为芯片或芯片——促进快速、健壮的、紧凑的笔记本电脑和欧洲杯线上买球智能手机。
在过去的25年里,并排CXRO科学家和工程师已经与微电子工业领导人应对重大技术进步需要开发EUV光刻。图片来源:玛丽莲·萨金特/伯克利实验室。
芯片组成小型零件称为晶体管分钟硅开关过程和数据存储为0和1,计算机的二进制语言。晶体管芯片包含越多,越快可以处理数据。最先进的芯片目前大约是指甲的大小,由超过1000亿个晶体管。
自1960年代以来,芯片行业依靠光刻-使用光打印分钟模式的方法在硅大规模生产微芯片。多年来,光刻技术的进步促进了应用越来越小的波长,从而,使更小的晶体管的制造。
在最初几年芯片创新,光刻工具第一次使用可见光波长只有400海里,然后紫外(UV)光(小248海里)和深紫外光(193海里)。
目前,芯片行业已经进入一个新时代:极端紫外线光刻技术(EUVL),一个突破性的方法,使用短的波长的仅仅13.5 nm,大约20倍小于紫外线和可见光小于40倍。
这个波长短EUV允许微电子行业打印晶体管和芯片电路数万倍稀释剂相比,一缕头发,购买更多的时间来摩尔定律,1965年估计的定位芯片上的晶体管数量每两年将增长两倍,直到技术性能达到了边界和小型化。
当你谈论未来的半导体制造,我们讨论延长摩尔定律,几十年来一直是我们的主要焦点。
x射线光学中心主任帕特里克Naulleau能源部,劳伦斯伯克利国家实验室(伯克利实验室)
帕特里克Naulleau也是一个领先的专业EUVL周围复杂的科学。欧洲杯线上买球
2019年,EUV光刻技术商业化,但花了数年的研究来达到这一里程碑。很多是可行的因为CXRO的特殊功能。在过去的25年里,CXRO研究人员和工程师们与微电子行业领导者处理主要的EUVL技术进步需要进步。
根据Naulleau,小波长EUVL非常接近x射线,因此需要新的工具,远超过早期光刻技术的能力,使用时间更长,更少能量的波长的紫外线和可见光。
(电磁范围,系统上的科学家用来分类所有范围根据其等效波长的光,x射线范围从0.01到10纳米;极端的紫外线或EUV光范围从10到124海里;和紫外线从124年到400海里,Naulleau澄清)。
一些分析师状态,摩尔定律接近结束。但也可能是几年前的当代芯片达到改进的边界,由于材料和仪器的进步促进CXRO, Naulleau说。欧洲杯足球竞彩
在洁净室在伯克利实验室x射线光学中心的研究人员使用极端的紫外线光刻技术(EUVL)推进创建下一代超薄电脑芯片。人的头发是50 - 100微米。每个图像的EUVL系统是200 x 30微米,极其信息丰富。视频来源:EUV /伯克利实验室材料欧洲杯足球竞彩研究中心。
来源:https://lbl.gov