筛分通过综合材料可用于半导体工业的聚光聚硅炉衬里欧洲杯足球竞彩

综合材料欧洲杯足球竞彩宣布其纯多晶硅的全球引进筛子(TM)用于半导体炉过程的衬垫。这款创新的新产品现已用于所选客户的“Beta”相位验证数量有限。衬垫夹具完成熔炉套件,包括炉船,喷射器和基座。

通过使用纯多晶硅衬里以及其他源剂产品,FAB可以完全实现聚硅的潜力,以优于传统的石英和碳化硅耗材。这些优点包括清洁和组件更换的熔炉停机,减少粒子计数和更低的所有权成本。

“随着衬里的衬里套装套件,Fabs可以消除耗时和昂贵的实践,他们被迫与传统的炉产消耗品一起使用,”综合材料公司总裁兼首席执行官Tom Cadwell说:“融合炉器欧洲杯足球竞彩提高热量流程的性能条,提供更高的炉吞吐量,显着的成本效益和改进的过程性能。“

减少炉停机时间

当达到指定的微米水平时,所有炉子部件都需要预防性维护。这项运动,即使只是用于单个夹具,需要整个炉子系统离线。熔化炉器可以完全消除常规清洁,大大提高生产能力利用率。通过消除机器停机时间进行日常清洁和随后的机器重新校准,FAB可以实现每个炉的吞吐量和能力利用率。

减少粒子产生,金属污染

炉中的每个部件可以有助于晶片缺陷。由碳化硅和石英释放颗粒构造的零件,其速率明显高于聚硅。欧洲杯猜球平台源区的离子纯多晶硅基材产生显着较少的颗粒,并且没有可产生负面影响晶片性能和产量的痕量金属。欧洲杯猜球平台通过对所有固定装置采用筛分,Fab达到比例较低的缺陷率。

拥有成本更低

最近证实威廉姆斯赖特和凯利的所有权成本分析,Inc . (WWK) SiFusion出众的记录生产产能利用率,每周好的晶片,每年清洗成本,每年一年一度消费和破损的风险增加到一个较低的总体拥有成本比碳化硅或石英的替代品。

SiFusion衬垫

与喷射器和艇一起,SiFusion内衬是半导体LPCVD炉的基本元件。衬套为气体从入口到排气提供了一个统一的路径,并作为一个超纯的屏障,防止来自炉外管的颗粒影响产品产量。欧洲杯猜球平台

涂布衬垫具有专利的表面处理,可扩散热应力,并允许结构通过高温循环,积极冲击炉正常运行,缺陷率和产量保持其完整性。

衬套是200和300毫米垂直炉工艺应用的理想选择,包括高温,LPCVD和HTO。SiFusion班轮已经在日本、韩国和新加坡的工厂获得资格认证。初始性能数据表明,当SiFusion衬管和船一起使用时,颗粒水平非常低。

可用性

SiFusion衬里和其他炉子产品可通过综合材料的全球销售团队获得。欧洲杯足球竞彩

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