牛津仪器后宣布他们的等离子体替代CMP产品,国际会议上推出的碳化硅及相关材料(ICSCRM / ECSCRM) 2022年9月11日- 16日在瑞士达沃斯,牛津仪器股票激动人心的消息。欧洲杯足球竞彩
图片来源:牛津仪器等离子体技术
牛津仪器公司开发出了一种非接触式等离子体刻蚀的方法制备碳化硅外延的基质。技术提供了类似的结果CMP但较低的运营成本,提高设备产量和工艺窗口能够支持过渡到薄的晶圆,因此增加晶圆/议会。可行性项目,进行一级碳化硅半导体制造工厂使用整个晶片,发现新的等离子体衬底制备技术的性能已经相当于CMP外延准备。
“这验证的结果是一个重要的里程碑在我们的目标是创建一个更具成本效益和可持续技术制备碳化硅外延基质”评论克洛斯Wisniewski,等离子体技术的战略业务发展总监,他也补充说:“我们的等离子epi-prep技术非常有前途,目前为多现有的替代品,但是有潜力指数增加底物生产和满足日益增长的对碳化硅基板的需求高速增长市场。”
牛津仪器将正式发布他们的等离子体在ICSCRM epi-prep解决方案,在瑞士达沃斯2022年9月11日- 16日。在会议技术会议,他们将他们的最新整个晶片epi和设备利用专利干蚀刻过程的结果。也将有机会说话人的事件,讨论实现等离子epi-prep高容量生产晶圆厂。登记参加在这里和预先安排一个面对面的会议,联系(电子邮件保护)(战略副总裁生产市场,牛津仪器等离子技术)。
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